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微波去膠機(jī)

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去膠工藝是微加工實(shí)驗(yàn)中一個(gè)非常重要的過程。在電子束曝光、紫外曝光等微納米加工工藝之后,都需要對(duì)光刻膠進(jìn)行去除或打底膜處理。光刻膠去除的是否干凈、對(duì)樣片是否有損傷等問題將直接影響到后續(xù)工藝的順利完成。德國(guó)ALPHA PLAMSA擁有多年的去膠經(jīng)驗(yàn),致力于給您提供專業(yè)的微波等離子體去膠機(jī)系統(tǒng),并提供專業(yè)的技術(shù)支持服務(wù)。產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):? 去膠快速? 對(duì)樣片無損傷? 操作簡(jiǎn)單安全? 設(shè)計(jì)緊湊美觀? 產(chǎn)品性價(jià)比高

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  去膠工藝是微加工實(shí)驗(yàn)中一個(gè)非常重要的過程。在電子束曝光、紫外曝光等微納米加工工藝之后,都需要對(duì)光刻膠進(jìn)行去除或打底膜處理。光刻膠去除的是否干凈、對(duì)樣片是否有損傷等問題將直接影響到后續(xù)工藝的順利完成。德國(guó)ALPHA PLAMSA擁有多年的去膠經(jīng)驗(yàn),致力于給您提供專業(yè)的微波等離子體去膠機(jī)系統(tǒng),并提供專業(yè)的技術(shù)支持服務(wù)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):

? 去膠快速
? 對(duì)樣片無損傷
? 操作簡(jiǎn)單安全
? 設(shè)計(jì)緊湊美觀
? 產(chǎn)品性價(jià)比高

產(chǎn)品用途:

? 高劑量離子注入光刻膠的去除
? 濕法或干法刻蝕前后的去殘膠
? MEMS中犧牲層的去除
? 去除化學(xué)殘余物
? 清除浮渣工藝

型號(hào)參考(詳細(xì)說明請(qǐng)聯(lián)系我們)

SU-8膠的去除:

  MEMS工藝中經(jīng)常用到SU8光刻膠,然而SU8非常穩(wěn)定,其最致命的缺點(diǎn)就是去膠困難。為了解決SU-8光刻膠的去膠問題,我們向您推薦德國(guó)Alpha Plasma專業(yè)的SU-8微波等離子體去膠機(jī),該設(shè)備采用氟基氣體的去膠工藝,利用氟基氣體與SU-8膠的化學(xué)反應(yīng),實(shí)現(xiàn)快速去除SU-8功能。同時(shí)設(shè)備中還集成了溫控系統(tǒng),去膠過程中對(duì)襯底溫度的控制保證了高深寬比金屬結(jié)構(gòu)的完整性,最終實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量MEMS器件的制備。SU-8去膠速率驗(yàn)收指標(biāo)為1μm/min,實(shí)驗(yàn)中可達(dá)到幾個(gè)微米。因此這款專業(yè)的SU8去膠機(jī)是MEMS去膠工藝的理想選擇。


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