1分辨率：
1.1寬度測量顯示分辨率≤1nm。
1.2高度測量顯示分辨率≤0.8 nm。
2光源要求：
2.1激光部分：采用405nm短波長半導(dǎo)體激光器，安全等級CLASS 2（輸出功率≤1mW）。
2.2可見光部分：長壽命LED光源。
2.3光掃描型觀察裝置：通過對激光的掃描而得到的信號進(jìn)行取樣，將其轉(zhuǎn)換為電信號。
3采用激光雙光路共焦系統(tǒng)。
4放大倍數(shù)：110倍——17000倍。
5載物臺要求：
5.1控制方式：電動(dòng)載物臺。
5.2載物臺行程范圍：X向不小于100mm，Y向不小于100mm。
（大工作臺可定制）
6物鏡要求：
6.1提供不少于5X、10X、20X、50X、100X、20X（超長焦）物鏡共計(jì)6顆。
6.2其中20X、50X、100X均為405納米激光LEXT專用平場復(fù)消色差（APO）物鏡。數(shù)值孔徑（N.A.）分別不小于0.60、0.90、0.95。
6.3其中20倍超長焦物鏡工作距離不小于25mm。
7物鏡轉(zhuǎn)換器：5孔電動(dòng)編碼型物鏡轉(zhuǎn)換器。
8可觀察試樣高度：0—95mm。
9軟件要求：
9.1功能包括：長度、高度、角度、面積、體積測量。其中高度測量根據(jù)相機(jī)上成像的多個(gè)位置的分段圖像的像素的亮度信息，求出IZ峰值位置，獲得上述試樣的高度信息，上述IZ峰值位置是根據(jù)表示亮度I和Z軸方向的焦點(diǎn)位置之間的關(guān)系的I-Z特性求出的更大亮度位置。
9.2粗糙度測量功能：軟件操作界面具有單獨(dú)粗糙度測量模塊，取樣長度d不低于50mm，測量精度符合國際標(biāo)準(zhǔn)ISO4287。
9.3自動(dòng)三維拼圖功能。軟件具備操作向?qū)Чδ芗昂暧^地圖功能。
10計(jì)算機(jī)要求：XeonCPU/8G內(nèi)存/500GB硬盤/DVD-RW光驅(qū)/24寸專業(yè)液晶顯示器。
11具備升級為原子力功能。
