、儀器的用途：

    ZXGP-800研究級(jí)大平臺(tái)硅片顯微鏡主要用于半導(dǎo)體硅片的觀察。它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強(qiáng)，成像較清晰和寬闊，又具有長(zhǎng)工作距離，并具有較大的視場(chǎng)范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù),配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡，在半導(dǎo)體行業(yè)有廣泛應(yīng)用。

　　大平臺(tái)硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀察到太陽能電池硅片肉眼難觀測(cè)的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格, 是太陽能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行質(zhì)量控制普通的儀器。

二、系統(tǒng)簡(jiǎn)介

    大平臺(tái)硅片顯微鏡系統(tǒng)是將傳統(tǒng)的光學(xué)儀器與計(jì)算機(jī)（數(shù)碼相機(jī)）通過光電轉(zhuǎn)換器有機(jī)地結(jié)合在一起，能在計(jì)算機(jī)（數(shù)碼相機(jī)）顯示屏幕上觀察實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)圖像，并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯、保存和打印。

三、技術(shù)參數(shù)、

   1.目鏡

   2.物鏡

   3.光學(xué)放大倍數(shù)：40X-400X（選配鏡頭可到1000X）  

   4.三目頭: 30?傾斜, 可全通光攝影

   5.轉(zhuǎn)換器：四孔內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位

   6.載物臺(tái)：三層機(jī)械移動(dòng)式尺寸: 300mm×268mm，移動(dòng)范圍250mm×200mm

   7.調(diào)焦機(jī)構(gòu)：粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動(dòng)格值:0.7μm

   8.落射照明系統(tǒng): 6V 20W 鹵素?zé)? 亮度與燈炮位置可調(diào),

                     內(nèi)置視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、推拉式檢偏器與起偏器,

   9.濾色片：黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃濾色片轉(zhuǎn)換裝置

  10.防霉系統(tǒng)

四、系統(tǒng)組成

     ZXGP-800型：1.硅片顯微鏡  2.適配鏡  3.攝像器（CCD） 4.圖像采集卡  5.軟件

五、選購件

   1.目鏡： 10X(分劃）                      2.物鏡： 50X   60X   100X（干）

   3.成像系統(tǒng)                               4.專業(yè)軟件

   5.配套電腦

  1.目鏡

   2.物鏡

   3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X-800X      

   4.三目頭: 30?傾斜, 可99%通光攝影

   5.轉(zhuǎn)換器：五孔內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位

   6.載物臺(tái)：三層機(jī)械移動(dòng)式尺寸: 280mmX270mm,移動(dòng)范圍: 204mmX204mm  

   7.調(diào)焦機(jī)構(gòu)：粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動(dòng)格值:0.7μm

   8.落射照明系統(tǒng): 15V 50W 鹵素?zé)? 亮度與燈炮位置可調(diào),

                     內(nèi)置視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、推拉式檢偏器與起偏器,

   9.濾色片：黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃濾色片轉(zhuǎn)換裝置

  10.防霉系統(tǒng)

四、系統(tǒng)組成

     ZXGP-800型：1.硅片顯微鏡  2.適配鏡  3.攝像器（CCD） 4.圖像采集卡  5.軟件

五、選購件

   1.目鏡： 10X(分劃）                      

   2.物鏡：  40X   60X   100X（干）