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- 公司名稱 上海納嘉儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 所在地 上海
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2024/6/11 14:08:54
- 訪問次數(shù) 77
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F3-sX系列膜厚儀F3-sX系列膜厚儀能測量半導(dǎo)體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度不好;波長選配F3-sX系列使用近紅外光來測量薄膜厚度,即使有許多肉眼看來不透光(例如半導(dǎo)體)
F3-sX 系列膜厚儀能測量半導(dǎo)體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度不好;
F3-sX系列使用近紅外光來測量薄膜厚度,即使有許多肉眼看來不透光(例如半導(dǎo)體)。 F3-s980 是波長為980奈米的版本,是為了針對(duì)成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計(jì),F3-s1310是針對(duì)重?fù)诫s硅片、GaAs或InP等不透明基片與減薄片的優(yōu)化設(shè)計(jì),F3-s1550則是為了超厚的薄膜設(shè)計(jì)。
附件包含自動(dòng)化測繪平臺(tái),一個(gè)影像鏡頭可看到量測點(diǎn)的位置以及可選配可見光波長的功能使厚度測量能力薄至15奈米。
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