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場發(fā)射掃描電鏡SIGMA 300

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蔡司公司推出Sigma300場發(fā)射掃描電鏡采用成熟的GEMINI光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì),將低電壓成像技術(shù)發(fā)揮到了很大,采用適宜的探針電流范圍,降低50%的信噪比從而提升了85%的襯度信息。Sigma300將高級(jí)的分析性能與場發(fā)射掃描技術(shù)相結(jié)合,多種探測器可選:用于顆粒、表面或者納米結(jié)構(gòu)成像。Sigma自動(dòng)的四步工作流程節(jié)省了設(shè)置與分析操作的時(shí)間,提高效率。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

用于清晰成像的靈活探測:

利用探測術(shù)為您的需求定制 Sigma,表征所有樣品。

利用 in-lens 雙探測器獲取形貌和成份信息。

利用新一代的二次探測器,獲取高達(dá)50%的信號(hào)圖像。在可變壓力模式下利用 Sigma 創(chuàng)新的 C2D 和 可變壓力探測器,在低真空環(huán)境下獲取高達(dá)85%對(duì)比度的銳利的圖像。

自動(dòng)化加速工作流程:

4步工作流程讓您控制 Sigma 的所有功能。在多用戶環(huán)境中,從快速成像和節(jié)省培訓(xùn)首先,先對(duì)樣品進(jìn)行導(dǎo)航,然后設(shè)置成像條件。

首先,先對(duì)樣品進(jìn)行導(dǎo)航,然后設(shè)置成像條件。

接下來對(duì)樣品感興趣的區(qū)域進(jìn)行優(yōu)化并自動(dòng)采集圖像。最后使用工作流程的步,將結(jié)果可視化。

高級(jí)分析型顯微鏡:

將掃描電子顯微鏡與基本分析相結(jié)合:Sigma 的背散射幾何探測器大大提升了分析性能,特別是對(duì)電子束敏感的樣品。

在一半的檢測束流和兩倍的速度條件下獲取分析數(shù)據(jù)。

8.5 mm 短的分析工作距離和35°夾角,獲取完整且無陰影的分析結(jié)果。

靈活的檢測器選項(xiàng),獲取清晰圖像:

使用新穎的ETSE和Inlens探測器在高真空下獲取高分辨率表面形貌信息。

使用VPSE或C2D檢測器在可變壓力模式下獲得清晰圖像。

使用aSTEM檢測器生成高分辨率透射圖像。

使用HDBSD或YAG檢測器分析成分。

技術(shù)參數(shù):

分辨率:  1.0nm@30kV STEM  1.0nm @15 kV   1.8nm @1kV
加速電壓 0.02—30KV 
放大倍數(shù) 10—1000000x
探針電流 調(diào)整范圍:0.02-30 kV(無需減速模式實(shí)現(xiàn))
X-射線分析工作距離 8.5mm    35度接收角 
低真空壓力范圍 2-133Pa (Sigma 300VP可用)
工作室 365 mm(φ),275mm(h)
5軸優(yōu)中心自動(dòng)樣品臺(tái) X=125mm  Y=125mm  Z=50mm  T=-10°- 90°R=360°連續(xù)
系統(tǒng)控制 基于Windows 7 的SmartSEM操作系統(tǒng)
存儲(chǔ)分辨率 32,000 x 24,000 pixels

 


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