XR-ICM 工業(yè)檢測(cè)顯微鏡適用于對(duì)工件表面的組織結(jié)構(gòu)與幾何形態(tài)進(jìn)行顯微觀察。采用優(yōu)良的無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)與模塊化功能設(shè)計(jì)理念,可以方便升級(jí)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)偏光觀察、暗場(chǎng)觀察等功能,導(dǎo)柱升降裝置,可以快速調(diào)整工作臺(tái)與物鏡之間的距離,適用于不同厚度工件檢測(cè)。機(jī)械移動(dòng)式載物平臺(tái)可有效定位工件觀察部位。調(diào)焦機(jī)構(gòu)采用圓柱滾子導(dǎo)向傳動(dòng),機(jī)構(gòu)升降平穩(wěn)。產(chǎn)品適用于精密零件,集成電路,包裝材料等產(chǎn)品檢測(cè)。
標(biāo)準(zhǔn)配置
技術(shù)規(guī)格 | |||
目鏡 | 大視野 WF10X(視場(chǎng)數(shù)Φ22mm) | ||
無限遠(yuǎn)平場(chǎng)消色差物鏡 | XR-ICM (配明場(chǎng)物鏡) | PL L5X/0.12 工作距離:26.1 mm | |
PL L10X/0.25 工作距離:20.2 mm | |||
PL L20X/0.40 工作距離:8.80 mm | |||
PL L50X/0.70 工作距離:3.68 mm | |||
XR-ICM-BD (配明/暗場(chǎng)物鏡) | PL L5X/0.12 BD 工作距離:9.70 mm | ||
PL L10X/0.25 BD 工作距離:9.30 mm | |||
PL L20X/0.40 BD 工作距離:7.23mm | |||
PL L50X/0.70 BD 工作距離:2.50 mm | |||
目鏡筒 | 三目鏡30°傾斜, 可99%通光攝影。 | ||
落射照明系統(tǒng) | XR-ICM | 6V30W鹵素?zé)簦炼瓤烧{(diào) | |
XR-ICM-BD | 12V50W鹵素?zé)?,亮度可調(diào) | ||
內(nèi)置視場(chǎng)光欄、孔徑光欄、(黃、藍(lán)、綠、磨砂玻璃)濾色片轉(zhuǎn)換裝置,推拉式檢偏器與起偏器 | |||
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶粗動(dòng)手輪松緊度調(diào)整裝置,微動(dòng)格值:2μm。 | ||
轉(zhuǎn)換器 | 五孔(內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位) | ||
工作臺(tái) | 底座外形尺寸:300mmX240mm | ||
機(jī)械式載物臺(tái)外形尺寸:185mmX140mm,移動(dòng)范圍:橫向35mm,縱向:30mm |
選配件
目鏡 | 10X分劃廣角目鏡(Φ22mm),格值0.1mm/格 | 1122010 | |
物鏡 | XR-ICM | PL L40X/0.60 工作距離:3.98 mm | 2260140 |
PL L60X/0.7 工作距離:3.18 mm | 2260360 | ||
PL L80X/0.80 工作距離:1.25 mm | 2260180 | ||
PL L100X/0.85 工作距離:0.40 mm | 2260111 | ||
XR-ICM-BD | PL L40X/0.6 BD 工作距離:3 mm | 2120140 | |
PL L60X/0.75 BD 工作距離:1.90 mm | 2120160 | ||
PL L80X/0.80 BD 工作距離:0.80mm | 2120180 | ||
PL L100X/0.85 BD 工作距離:0.4 mm | 2120111 | ||
CCD接頭 | 0.5X | 810004 | |
1X | 810002 | ||
0.5X帶分劃尺,格值0.1mm/格 | 810003 |