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AL120-12晶圓搬送機(jī)

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公司名稱(chēng) 杭州全譜實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司
品牌
型號(hào)
所在地 杭州市
廠商性質(zhì) 其他
更新時(shí)間 2024/6/14 14:03:27
訪問(wèn)次數(shù) 54

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴(lài)度；傳統(tǒng)的塑膠模具開(kāi)模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開(kāi)模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴(lài)。

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AL120-12晶圓搬送機(jī)

AL120-12晶圓搬送機(jī)對(duì)應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和安全。

自動(dòng)300 mm晶圓搬送機(jī) AL120-12 規(guī)格
	AL120-LMB12-LP	AL120-LMB12-F
晶圓尺寸	300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選：200 mm
卡盒	●FOUP（Front Opening Unified Pods）前開(kāi)門(mén)標(biāo)準(zhǔn)夾 ●SEMI：E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品 ●FIMS-FOSB, FOSB	●FOSB（Front Opening Shipping Box）前開(kāi)門(mén)搬運(yùn)盒 ●SEMI：M31-0999規(guī)格產(chǎn)品
卡盒數(shù)	單盒（裝載、卸載兼用）
卡盒設(shè)置高度	900 mm
裝載端口	有	無(wú)
搬運(yùn)順序	表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查
檢查模式	全部檢查、抽樣檢查
晶圓校準(zhǔn)	非接觸式中心環(huán)
晶圓搬運(yùn)方式	真空吸附機(jī)械搬運(yùn)
適用顯微鏡	半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L
應(yīng)用環(huán)境	AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz 真空-67～-80 Kpa
載物臺(tái)	XY手動(dòng)吸附載物臺(tái)，有XY粗調(diào)／微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
重量（不包括顯微鏡）	約360 kg	約270 kg