LEXT OLS4500納米檢測顯微鏡是一款集成了激光顯微鏡和探針掃描顯微鏡功能于一體的新型納米檢測顯微鏡，可以實(shí)現(xiàn)從50倍到100萬倍的超大范圍的觀察和測量。
LEXT OLS4500納米檢測顯微鏡五大特點(diǎn)：
OLS4500為您帶來的解決方案
OLS4500實(shí)現(xiàn)了無縫觀察和測量
跟從向?qū)М嬅娴闹甘荆?可輕松操作的6種SPM測量模式
裝配了激光掃描顯微鏡，靈活應(yīng)對多種樣品
可用于傳統(tǒng)的線粗糙度測量，也可用于信息量較多的面粗糙度測量
技術(shù)規(guī)格
| 主機(jī) 規(guī)格 |
| LSM部分 | 光源、檢出系統(tǒng) | 光源：405 nm半導(dǎo)體激光、檢出系統(tǒng)：光電倍增管 |
| 總倍率 | 108～17,280X |
| 變焦 | 光學(xué)變焦：1～8X |
| 測量 | 平面測量 | 重復(fù)性 | 100x : 3σn-1=0.02μm、50x：3σn-1=0.04μm、20x：3σn-1=0.1μm |
| 正確性 | 測量值的±2%以內(nèi) |
| 高度測量 | 方式 | 物鏡轉(zhuǎn)換器上下驅(qū)動(dòng)方式 |
| 行程 | 10mm |
| 內(nèi)置比例尺 | 0.8nm |
| 移動(dòng)分辨率 | 10nm |
| 顯示分辨率 | 1nm |
| 重復(fù)性 | 100x :σn-1= 0.012μm、50x：σn-1＝0.012μm、20x：σn-1＝0.04μm |
| 正確性 | 0.2+L/100 μm以下（L＝測量長度） |
| 彩色觀察部分 | 光源、檢出系統(tǒng) | 光源：白色LED、檢出系統(tǒng)：1/1.8英寸200萬像素單片CCD |
| 變焦 | 碼變焦：1～8X |
| 物鏡轉(zhuǎn)換器 | 6孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器 |
| 微分干涉單元 | 微分干涉滑片：U-DICR、內(nèi)置偏振光片單元 |
| 物鏡 | 明視場平面半消色差透鏡5X LEXT專用平面復(fù)消色差透鏡20X、50X、100X |
| Z對焦部分行程 | 76 mm |
| XY載物臺 | 100 x 100 mm（電動(dòng)載物臺） |
| SPM部分 | 運(yùn)行模式 | 接觸模式、動(dòng)態(tài)模式、相位模式、電流模式*、表面電位模式（KFM）*、磁力模式（MFM）* |
| 位移檢出系統(tǒng) | 光杠桿法 |
| 光源 | 659 nm半導(dǎo)體激光 |
| 檢出設(shè)備 | 光電檢測器 |
| 掃描范圍 | X-Y： 30 μm x 30 μm、Z： 4.6 μm |
| 安裝微懸臂 | 在盒式微懸臂支架上一鍵安裝。使用微懸臂安裝位置調(diào)整專用工裝夾具預(yù)對位，更換支架時(shí)無需光學(xué)調(diào)整。 |
| 系統(tǒng) | 總重量 | 約440 kg（不包含電腦桌） |
| I額定輸入 | 100－120 V/220－240 V、600 VA、50/60 Hz |
*該功能為選項(xiàng)功能。
| 物鏡 規(guī)格 |
| 型號 | 倍率 | 視場 | 工作距離（W.D.） | 數(shù)值孔徑（N.A.） |
| MPLFLN5X | 108-864X | 2,560-320μm | 20.0mm | 0.15 |
| MPLAPON20XLEXT | 432-3,456X | 640-80μm | 1.0mm | 0.60 |
| MPLAPON50XLEXT | 1,080-8,640X | 256-32μm | 0.35mm | 0.95 |
| MPLAPON100XLEXT | 2,160-17,280X | 128-16μm | 0.35mm | 0.95 |
| 微懸臂 規(guī)格 |
| 用途 | 型號 | 類型 | 探針數(shù)量 | 微懸臂 | 探針 | 材質(zhì) | 金屬膜
涂層 |
| 共振頻率
(kHz) | 彈簧常數(shù)
(N/m) | 高度
(μm） | 前端半徑
(nm） | 探針／
微懸臂 | 探針涂層／
反射涂層 |
| 動(dòng)態(tài)模式／
相位模式 | OMCL-AC160TS-C3 | 標(biāo)準(zhǔn)硅膠 | 24 | 300 | 26 | 14 | 7 | Si / Si | 無 / Al |
| OMCL-AC160BN-A2 | 高縱橫比硅膠 | 12 | 300 | 42 | 9 | 8 | Si / Si | 無／無 |
| OMCL-AC240TS-C3 | 低彈簧常數(shù)硅膠 | 24 | 70 | 2 | 14 | 7 | Si / Si | 無／Al |
| 接觸模式 | OMCL-TR800PSA-1 | 標(biāo)準(zhǔn)氮化硅 | 34 | 73 / 24 | 0.57 / 0.15 | 2.9 | 15 | SiN / SiN | 無／Au |
| 表面電位模式 | OMCL-AC240TM-B3 | 電氣測量專用硅膠 | 18 | 70 | 2 | 14 | 15 | Si / Si | Pt/Al |
• 微懸臂、探針的機(jī)械特性及尺寸均為代表值。
• 微懸臂非常小，請注意不要傷到眼睛或不小心吞咽。
• 電流模式、磁力模式中使用的微懸臂的詳細(xì)信息，請咨詢經(jīng)銷商。
• 除上表以外，還有其他規(guī)格的微懸臂。經(jīng)銷商。
OLS4500為您帶來的解決方案
實(shí)現(xiàn)納米級觀測的新型顯微鏡。不會丟失鎖定的目標(biāo)。
涵蓋了低倍到高倍觀察，并配有多種觀察方法可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象。
可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此，光學(xué)技術(shù)打造的光學(xué)顯微鏡帶來多種觀察方法，可以容易的發(fā)現(xiàn)觀察對象。此外，對于光學(xué)顯微鏡難以找到的觀察對象，還可以使用激光顯微鏡進(jìn)行觀察。在激光微分干涉（DIC）
觀察中，可以進(jìn)行納米級微小凹凸的實(shí)時(shí)觀察。
縮短從放置樣品到獲取影像的工作時(shí)間。
放置好樣品后，所有的操作都在1臺裝置上完成。可以迅速，正確的把觀察對象移到SPM顯微鏡下面，所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。
一體機(jī)的機(jī)型，所以無需重新放置樣品只要在1臺裝置上切換倍率、觀察方法就能夠靈活應(yīng)對新樣品。
OLS4500實(shí)現(xiàn)了無縫觀察和測量
【發(fā)現(xiàn)】可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象
使用光學(xué)顯微鏡的多種觀察方法， 迅速找到觀察對象
OLS4500采用了白色LED光源， 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡， 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發(fā)揮了光學(xué)觀察的特長， 除了使用的明視場觀察（BF）以外， 還可以使用對微小的凹凸添加明暗對比， 達(dá)到視覺立體效果的微分干涉觀察（DIC）， 以及用顏色表現(xiàn)樣品偏光性的簡易偏振光觀察。此外， OLS4500上還配有HDR功能（高動(dòng)態(tài)范圍功能）， 該功能使用不同的曝光時(shí)間拍攝多張影像后進(jìn)行合成， 來顯示亮度平衡更好、強(qiáng)調(diào)了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對象。
使用激光顯微鏡，可以觀察到光學(xué)顯微鏡中難以觀察到的樣品影像
OLS4500采用了短波長405 nm的激光光源和高N.A.的專用物鏡， 實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異的平面分辨率。能以鮮明的影像呈現(xiàn)出光學(xué)顯微鏡中無法看到的觀察對象。在激光微分干涉（DIC）模式中還可以實(shí)時(shí)觀察納米級的微小凹凸。
【接近】迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象，在SPM上正確完成觀察
實(shí)現(xiàn)了無縫觀察，不會丟失觀察對象
OLS4500在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了涵蓋低倍到高倍觀察的4種物鏡， 以及小型SPM單元。在光學(xué)顯微鏡或激光顯微鏡的50倍、100倍的實(shí)時(shí)觀察中， 由于SPM掃描范圍一直顯示于視場中心， 所以把觀察目標(biāo)點(diǎn)對準(zhǔn)該位置后， 只要切換到探針顯微鏡， 就能夠正確接近觀察對象。因此， 只需1次SPM掃描就能獲取目標(biāo)影像， 從而能夠提高工作效率并降低微懸臂的損耗。
不會在SPM觀察中迷失的、可切換式向?qū)Чδ?/h4>
【納米級測量】簡單操作，可以迅速獲得測量結(jié)果
新開發(fā)的小型SPM測頭， 減少了影像瑕疵
使用向?qū)Чδ?，自由放大SPM影像
使用向?qū)Чδ埽?可以觀察時(shí)進(jìn)一步放大探針顯微鏡拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠標(biāo)指針設(shè)置放大范圍并掃描， 就可以獲取所需的SPM影像?？梢宰杂稍O(shè)置掃描范圍， 所以大幅度提高了觀察和測量的效率。
向?qū)Чδ茉?0μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范圍
優(yōu)異的分析功能， 應(yīng)對各種測量目的
跟從向?qū)М嬅娴闹甘荆?可輕松操作的6種SPM測量模式
接觸模式
控制微懸臂與樣品之間作用的排斥力為恒定的同時(shí)， 使微懸臂進(jìn)行靜態(tài)掃描， 在影像中呈現(xiàn)樣品的高度。還可以進(jìn)行彎曲測量。
動(dòng)態(tài)模式
使微懸臂在共振頻率附近振動(dòng)， 并控制Z方向的距離使振幅恒定， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品高度。特別適用于高分子化合物之類表面柔軟的樣品及有粘性的樣品。
相位模式
在動(dòng)態(tài)模式的掃描中， 檢測出微懸臂振動(dòng)的相位延遲。可以在影像中呈現(xiàn)樣品表面的物性差。
電流模式
對樣品施加偏置電壓，檢測出微懸臂與樣品之間的電流并輸出影像。此外，還可以進(jìn)行I/V測量。
表面電位模式（KFM）
使用導(dǎo)電性微懸臂并施加交流電壓， 檢測出微懸臂與樣品表面之間作用的靜電， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的電位。也稱作KFM（Kelvin Force Microscope）。
磁力模式（MFM）
在相位模式中使用磁化后的微懸臂進(jìn)行掃描， 檢測出振動(dòng)的微懸臂的相位延遲， 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的磁力信息。也稱作MFM（Magnetic Force Microscope）。
裝配了激光掃描顯微鏡，靈活應(yīng)對多種樣品
輕松檢測85°尖銳角
采用了有著高N.A. 的專用物鏡和專用光學(xué)系統(tǒng)（能限度發(fā)揮405 nm 激光性能），LEXT OLS4500 可以精確地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。
高度分辨率10 nm，輕松測量微小輪廓
由于采用405 nm的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡， OLS4500達(dá)到了0.12 μm的平面分辨率。因此， 可以對樣品的表面進(jìn)行亞微米的測量。結(jié)合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯的亮度檢測技術(shù)， OLS4500可以分辨出亞微米到數(shù)百微米范圍內(nèi)的高度差。此外， 激光顯微鏡測量還保證了測量儀器的兩大指標(biāo)——“正確性”（測量值與真正值的接近程度）和“重復(fù)性”（多次測量值的偏差程度）的性能。
從大范圍拼接影像中目標(biāo)區(qū)域
高倍率影像容易使視場范圍變小，而通過設(shè)置，OLS4500的拼接功能最多可以拼接625幅影像，從而能夠獲得高分辨率的大范圍視圖數(shù)據(jù)。不僅如此，還可以在該大范圍視圖上進(jìn)行3D顯示或3D測量。
可用于傳統(tǒng)的線粗糙度測量，也可用于信息量較多的面粗糙度測量
越來越重要的表面粗糙度測量
在面粗糙度測量中詳細(xì)掌握粗糙度的分布和特點(diǎn)
在非接觸式表面粗糙度測量中， 除了線粗糙度還可以測量面粗糙度。在面粗糙度測量中可以掌握樣品表面上區(qū)域內(nèi)粗糙度分布和特點(diǎn)， 并能夠與3D影像對照評價(jià)。OLS4500可以根據(jù)不同樣品和使用目的， 分別使用激光顯微鏡功能或探針顯微鏡功能測量表面粗糙度。
OLS4500的粗糙度參數(shù)
參數(shù)兼容性
OLS4500具有與接觸式表面粗糙度測量儀相同的表面輪廓參數(shù)，因此具有相互兼容的操作性和測量結(jié)果。
適應(yīng)下一代參數(shù)
OLS4500具有符合ISO25178的粗糙度（3D）參數(shù)。通過評估平面區(qū)域，可以進(jìn)行高可靠性的分析。
OLS4500的顯微鏡技術(shù)
光學(xué)顯微鏡的原理和特長
激光顯微鏡的原理和特長
可進(jìn)行亞微米級觀察和測量的激光顯微鏡（LSM:Laser Scanning Microscope)
的Z軸測量
探針顯微鏡的原理和特長
可以觀察納米級微觀世界的探針顯微鏡(SPM:Scanning Probe Microscope)
通過微懸臂掃描進(jìn)行納米觀察
多種觀察模式在影像中呈現(xiàn)表面形狀和物性
決定高精細(xì)度、高質(zhì)量影像的微懸臂
探針位于長度約100μm～200μm的薄片狀微懸臂的前端。您可以根據(jù)樣品選擇不同的彈簧常數(shù)、共振頻率。反復(fù)掃描會磨損探針， 所以請根據(jù)需要定期更換微懸臂探針。
