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MIDAS-E-SHX 吸引型固定氣體SiH4,Si2H6查器

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產(chǎn)品特點?對應35種以上的氣體?保質(zhì)期2年的傳感器?簡單操作,附大背光LCD顯示屏?減輕在現(xiàn)場的氣體校正?裝配有事項報告功能?30m的可抽樣的吸引泵系統(tǒng)(壽命2年)?通過(PoE)通信也可供給電源?取得了對無線周波數(shù)干預的電磁波耐性的CE認證

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產(chǎn)品特點

?對應35種以上的氣體
?保質(zhì)期2年的傳感器
?簡單操作,附大背光LCD顯示屏
?減輕在現(xiàn)場的氣體校正
?裝配有事項報告功能
?30m的可抽樣的吸引泵系統(tǒng)(壽命2年)
?通過(PoE)通信也可供給電源
?取得了對無線周波數(shù)干預的電磁波耐性的CE認證 。
?可閱覽傳感器記錄的活動記錄功能
?采用選擇性高的優(yōu)良的傳感器,避免干涉氣體的錯誤警報

35種以上的傳感器的筒芯

檢測氣體可通過交換筒芯檢測35種以上的氣體。
想變更檢測氣體的情況,只要交換傳感器筒芯。
自動變更警報設定,客戶沒有必要變更內(nèi)部設定。
 

調(diào)整好的筒芯,不需現(xiàn)場調(diào)整

完成傳感器筒芯調(diào)整(校正)后發(fā)貨。
因此,以前的氣體傳感器在必要的傳感器交換后,不需要調(diào)整氣體。因此,可以簡便迅速的使傳感器交換作業(yè)完成。降低運行成本。

※本社氣體調(diào)整以外,可有償接受機器的警報確認。
更確定的安全管理,推薦定期警報確認。

搭載易見的大型液晶畫面

在液晶畫面上搭載有多顏色背光。
可讓作業(yè)者盡早知道3色高輝度LED機器狀態(tài)。

在大型液晶畫面上表示濃度以外,大型液晶畫面には濃度表示のほか、表示有機器的狀態(tài)通知圖標,各種錯誤的圖標等。

利用了網(wǎng)絡的濃度確認和控制可能。

被設定有各種各樣的獨自的IP地址,通過網(wǎng)絡進行通信。MIDAS和LAN數(shù)據(jù)線連接,經(jīng)由公司內(nèi)部的LAN和網(wǎng)絡,電腦和平板端末等可以訪問MIDAS。

從外部確認MIDAS的指示值,閱覽內(nèi)部設定,機器的調(diào)整,進行各種模擬測試。
簡單低成本的實現(xiàn)高度的安全管理。

(PoE)驅(qū)動

MIDAS的驅(qū)動是24V電源之外,通過PoE的LAN數(shù)據(jù)線可使其驅(qū)動。
可使容易繁雜的電源線和上記的網(wǎng)絡通信線一根化,進行流暢的電路布局。

氣體檢測控制裝置   與Gas Buster Controller的聯(lián)動

通過使氣體檢測控制單體Gas Buster Controller運行、能同時確認多個缺氧范圍的氧氣儀,此外,氣體檢測儀在室內(nèi)的場合,沒有危險區(qū)域的安全場合能確認氣體濃度,能構造高安全管理體制。

適用場合

編入半導體制造裝置
半導體制造工廠
化學成套設備
重工業(yè)工廠
上下水道處理場
各種研究設備

可搭載傳感器一覽

ASH3、B2H6、BCL3氯化硼、BF3、Br2液溴、C4F6六氟丁二烯、C5F8八氟環(huán)戊烯、CL2氯氣、CLO2二氧化氯、CO一氧化碳、CO2二氧化碳、F2氟氣、GEH4鍺烷、H2氫氣、HBr溴化氫、HF氟化氫、N2O笑氣、NF3三氟化氮、NH3氨氣、NO一氧化氮、NO2二氧化氮、O2氧氣、O3臭氧、PH3、Si2H6乙硅烷、SiH2CL2二氯硅烷、SiH4甲硅烷、SO2二氧化硫、TEOS硅酸乙酯、WF6六氟化鎢

 


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