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手動(dòng)納米平臺(tái)

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 手動(dòng)納米平臺(tái)

    手動(dòng)納米平臺(tái)是西格瑪光機(jī)全新概念的,全新產(chǎn)品,至今還沒(méi)有確定上市時(shí)間,此款平臺(tái)在普通的手動(dòng)微分頭和平臺(tái)臺(tái)面之間,加裝一個(gè)壓電陶瓷模塊,該壓電陶瓷模塊,有一組手動(dòng)鈕控制,一個(gè)鈕對(duì)應(yīng)一個(gè)軸,實(shí)現(xiàn)平臺(tái)臺(tái)面位置的納米分辨率的微調(diào),不僅如此,它既有大行程(6mm),又有高精度(<20nm),還有小體積(25*25臺(tái)面可選),實(shí)現(xiàn)了手動(dòng)平臺(tái)超高分辨率調(diào)整的理想手段。


技術(shù)指標(biāo): 

指標(biāo)項(xiàng)目

臺(tái)面尺寸

25mm

40mm

 

60mm

 

行程

粗調(diào)(mm

6

13

13

微調(diào)(μm)

30~50

30~50

30~50

 

分辨率

粗調(diào)(mm

0.01

0.01

0.01

微調(diào)(nm

<20

<20

<20

 

承載能力

X/XY 軸(kg

2

3

5

Z軸(kg

1

1

1

 *粗調(diào):普通微分頭

    微調(diào):壓電陶瓷

    手調(diào)控制器類型:1軸用,3軸用


實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)圖:


           


重要信息:

       我司是西格瑪光機(jī)的中國(guó)區(qū)域一級(jí)代理商,只要有新產(chǎn)品上新,我們都是個(gè)知道,想了解更多手動(dòng)納米平臺(tái)的資料,可以關(guān)注我們,不僅如此,我們還提供各種指標(biāo)的成像物鏡、加工物鏡、光刻物鏡等的定制,我們。



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