現(xiàn)在，大多數(shù)的材料都是多層結(jié)構(gòu)，比如太陽(yáng)能光伏電池、LED、硬盤(pán)、鋰電池電極、鍍層玻璃等。它們表面經(jīng)過(guò)特殊處理或采用了鍍層來(lái)改善材料性能，如提高耐腐蝕能力。
脈沖式射頻輝光放電光譜儀是一款用于鍍層材料研究、過(guò)程加工和控制的理想分析工具。它可對(duì)薄/厚膜、導(dǎo)體/非導(dǎo)體進(jìn)行超快速元素深度剖析，并且對(duì)所有的元素都有高的靈敏度。
顧名思義，該技術(shù)結(jié)合了脈沖式射頻供電的輝光放電源和高靈敏度的發(fā)射光譜儀。前者具有高深度分辨率，可對(duì)樣品分析區(qū)域進(jìn)行一層層剝蝕；后者可助您實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)所有感興趣的元素。
GD-Profiler 2的射頻輝光放電光源設(shè)計(jì)，使其既可以測(cè)試導(dǎo)體、非導(dǎo)體及導(dǎo)體/非導(dǎo)體相間的鍍層樣品；既可以實(shí)現(xiàn)表面、深度剖析，也可實(shí)現(xiàn)基體成分分析。
國(guó)際認(rèn)可技術(shù)
輝光放電光譜技術(shù)在材料科學(xué)領(lǐng)域展現(xiàn)了強(qiáng)大的活力，如ISO/TC 201已為表面分析發(fā)布3個(gè)GDS國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)；市面上已出版了5本相關(guān)參考書(shū)，并且每年發(fā)表60篇以上含有GDS數(shù)據(jù)的科技論文。
快速、高深度分辨率
脈沖式射頻輝光放電光譜儀典型的剝蝕速率為微米/分鐘（即：2-10nm/s），可快速測(cè)試多個(gè)樣本，反饋及時(shí)。該特點(diǎn)使其可用于優(yōu)化和控制蒸發(fā)的每個(gè)階段（沉積或退火過(guò)程），并快速應(yīng)對(duì)任何觀察到的變化。的脈沖式射頻輝光源和超快速檢測(cè)能力的光學(xué)系統(tǒng)，使脈沖式射頻輝光放電光譜儀具有了納米級(jí)甚至亞納米級(jí)的深度分辨率。
適用于所有元素
高靈敏度和超快速光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)使其可以同時(shí)檢測(cè)所有感興趣元素的深度分布；發(fā)射譜線范圍從VUV（H和同位素D的譜線在120nm附近，O在130nm等）到IR的鋰（670nm）和鉀（766nm）。
薄/厚膜的定量深度剖析
表面靈敏技術(shù)（XPS或SIMS）分析速度很慢并且僅能分析1微米以內(nèi)的鍍層。對(duì)于較厚的鍍層，雖然可以使用SEM EDX測(cè)試橫截面，但需要繁復(fù)的樣品制備而且不能測(cè)試輕元素。脈沖式射頻輝光放電光譜可快速濺射十幾微米以測(cè)試所有元素，薄/厚膜均適用。
具備性能的脈沖式射頻源結(jié)合發(fā)射光譜儀可使基體效應(yīng)最小化。通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)曲線，可將測(cè)試所得的定性曲線（強(qiáng)度vs.時(shí)間）轉(zhuǎn)化為定量深度曲線（濃度vs.深度）非常方便。
特點(diǎn)：
● 分析時(shí)間短，比需要超高真空環(huán)境的經(jīng)典表面分析技術(shù)快1000倍。
● 非導(dǎo)體非常容易分析，無(wú)表面電荷效應(yīng)。
● 同時(shí)測(cè)定所有元素，包括H、C、N、O、F、Li等。
● 納米級(jí)深度分辨率。
● GDS可與那些提供成像、橫向分辨率或分子信息的技術(shù)互補(bǔ)分析。
標(biāo)準(zhǔn)配置：
激發(fā)源：頻率為13.56MHz的射頻水冷式固態(tài)發(fā)生器，可以在RF、脈沖RF或是VDC下運(yùn)行
功率：150W
光譜范圍：120nm ~ 800nm
光譜儀恒溫系統(tǒng)：（31±0.1℃）；焦長(zhǎng)0.5m；2400gr/mm光柵
光譜分辨率：18pm~25pm
深度分辨率：1nm
元素通道：47個(gè)
檢測(cè)器線性動(dòng)態(tài)范圍：5×109
真空泵真空度可達(dá)：5×10E-4
軟件：Quantum
計(jì)算機(jī)：Windows 7, Dell 1070 MT （根據(jù)計(jì)算機(jī)水平更新）
可選配置：
單色儀：焦長(zhǎng)0.64m；2400gr/mm（160nm~800nm）或3600gr/mm（160nm~560nm）
平場(chǎng)多色儀：焦長(zhǎng)0.2m；1200gr/mm光柵
銅陽(yáng)極：標(biāo)準(zhǔn)直徑為4mm；1mm、2mm、7mm和8mm可選
DIP深度測(cè)試：附件適用于鏡面平整的樣品
設(shè)備需求：
尺寸：150 X 86 X 125 cm（長(zhǎng) X 寬 X 高）
重量：350 Kg
電源：230V +/-10%的單相電，頻率為50/60Hz
環(huán)境：濕度：20~80%； 溫度：18~24℃（±2℃）
氬氣（等離子體）：純度>99.999%，壓力4 bar
氮?dú)猓ù祾吖庾V室）：純度>99.995%，流速3L/min
壓縮空氣壓力：6 bar
