工作環(huán)境

<1×10-3Pa

光學(xué)真空外罩

可定制

頂部快拆

緊湊/非緊湊

防熱屏蔽層

安裝溫度計(jì)的防輻射屏

光學(xué)窗口

光窗數(shù)量

標(biāo)準(zhǔn)4個(gè)

頂部擴(kuò)展1個(gè)

光窗材質(zhì)

石英

光窗直徑

25mm

樣品形式

薄膜或粉末

樣品環(huán)境

真空

普通鍍金樣品臺

光學(xué)樣品臺

*全定制（1個(gè)）

電學(xué)樣品臺

*全定制（1個(gè)）

普通電學(xué)樣品卡

電學(xué)樣品卡

*全定制（5個(gè)）

閥門

抽口閥門

1個(gè)

安全閥門

1個(gè)

破空閥門

1個(gè)

6針電學(xué)真空接頭

用于連接控溫儀

3個(gè)可選電學(xué)接口

1-19芯

可選配置

電學(xué)接口

SMA

BNC

TRB

頂部擴(kuò)展窗口

垂直光窗

其他材質(zhì)窗口

氟化鈣

藍(lán)寶石

硒化鋅

低漏電接口

100fA

制冷量（50Hz）

一級

二級

50W@43K

1.3W@4.2K

降溫時(shí)間（二級）

<60min（4.2K）

重量

冷頭

壓縮機(jī)

20kg

118kg

對接壓縮機(jī)

KDC6000V

功耗50Hz

穩(wěn)態(tài)

降溫

6.5kW

7.2kW

冷卻方式

水冷

水冷卻流量

7~10L/min

標(biāo)準(zhǔn)軟管

20A×20m

維護(hù)周期

10000h

氦壓縮機(jī)

電源要求

380,400V@50Hz 3P 480V@60Hz 3P

氦氣純度

＞99.999%

冷卻方式

水冷

水流量

7L~10L/min（25℃）

冷卻水溫度

進(jìn)口

出口

5~25℃

<44℃

功耗50Hz

穩(wěn)態(tài)

降溫

6.5kW

7.2kW

壓力范圍（運(yùn)行）

排氣

回氣

16.6~23bar

2.8~6.9bar

環(huán)境溫度要求

運(yùn)行

儲存

4~40℃

-20~65℃

相對濕度

運(yùn)行

儲存

30%-70%

10%-90%(不結(jié)露)

環(huán)境壓力要求

運(yùn)行

儲存

70kPa~110kP

20kPa~110kPa

對接標(biāo)準(zhǔn)軟管

20A×20m

維護(hù)周期

30000h

重量

118kg

溫度計(jì)

測溫范圍

1.4K-500K

溫控儀

溫度輸入數(shù)量

2，2通道獨(dú)立輸入

控溫通道

1

溫度下限

300mK

水冷機(jī)

Integrative

分體機(jī)

制冷量

8000W @25℃

控溫方式

啟停式

冷卻方式

壓縮機(jī)制冷

控溫精度

±1℃

控溫范圍

5~35℃

額定流量(L/min@Bar)

25@3.5

最大壓力

4.3bar

水箱容積

90L

制冷劑

R410A

外形尺寸(室內(nèi)機(jī))

430X635X940(寬x深x高)

外形尺寸(室外機(jī))

865x310x710(寬x深x高)

蒸發(fā)器類型

不銹鋼盤管

水槽材質(zhì)

SUS304不銹鋼水箱

接口尺寸

Rp1

電源要求

220V/380V，50Hz

電功率

4.3/3.3KW

分子泵

接口法蘭

DN100 CF

抽氣速率L/S(對空氣)

110

壓縮比

＞108（N2）

5×102（H2）

極限壓強(qiáng) (Pa)

6×10-7

建議啟動(dòng)壓強(qiáng)（Pa）

＜100

輸入電壓頻率(V/Hz)

220±20/50

前級泵型號

RV4（標(biāo)配）

冷卻方式

風(fēng)冷、水冷

冷卻水壓力(MPa)

0.1-0.2

冷卻水溫度(℃）

≤25

冷卻水流量（L/min）

>1

安裝方式

垂直

環(huán)境溫度 (℃)

5～40

長×寬×高（mm）

500×510×685

重量（kg）

52

低溫制冷機(jī)冷頭

氦壓縮機(jī)

分體式冷水機(jī)：由室內(nèi)機(jī)和室外機(jī)組成

分子泵

粉末樣品臺

薄膜樣品臺

電學(xué)測試卡示意圖