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普通型硅片檢測(cè)顯微鏡 TGB-200

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一、儀器用途 TGB-200硅片檢測(cè)顯微鏡主要用于太陽(yáng)能電池硅片的觀察.它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強(qiáng),成像較清晰和寬闊,又具有長(zhǎng)工作距離,并具有較大的視場(chǎng)范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù),配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔”的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽(yáng)能電池硅片的普遍專(zhuān)用顯微鏡

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一、儀器用途

 TGB-200 硅片檢測(cè)顯微鏡主要用于太陽(yáng)能電池硅片的觀察.它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強(qiáng),成像較清晰和寬闊,又具有長(zhǎng)工作距離,并具有較大的視場(chǎng)范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù),配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽(yáng)能電池硅片的普遍專(zhuān)用顯微鏡。
  硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測(cè)的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括 顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無(wú)機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象,使磨片不合格. 是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行質(zhì)量控制最普通的儀器。

二、技術(shù)參數(shù)
1.目鏡
類(lèi)型 放大倍數(shù) 視場(chǎng)(mm)
大視野目鏡 10X Φ16
2.物鏡
類(lèi)別 放大倍數(shù) 數(shù)值孔徑(NA) 工作距離(mm)
平場(chǎng)消色差物鏡
(無(wú)蓋玻片)
5X 0.12 18.3
10X 0.25 8.9
40X 0.60 3.7
60X 0.85 0.26
3.光學(xué)放大倍數(shù):50X 100X  400X 600X
 系統(tǒng)參考放大倍數(shù):50X-4000X
4.載物臺(tái):尺寸 185mm*140mm    移動(dòng)范圍 75mm*50mm
5.調(diào)焦系統(tǒng):帶限位和調(diào)節(jié)松緊裝置的同軸粗微動(dòng)   微動(dòng)格值 0.002mm
6.濾色片組:轉(zhuǎn)盤(pán)式,黃色、藍(lán)色、綠色、磨砂玻璃
7.偏光裝置:可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
8.照明系統(tǒng):6V/20W鹵素?zé)?,亮度可調(diào);220V(50Hz)
9.防霉:的防霉系統(tǒng)
10.成像系統(tǒng):高像素的日本JVC攝像頭

三、系統(tǒng)組成
(TGB-200):1.硅片顯微微 2.適配鏡 3.CCD攝像器 4.A/D圖像采集卡

四、總放大參考倍數(shù)
TGB-200:50--4000倍

五、選購(gòu)件
1.圖像測(cè)量軟件  2.目鏡: 20X 10X(帶刻度)  3.物鏡:20X 80X 10X干


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