干涉顯微鏡6JA

一、用途

干涉顯微鏡是用來測量精密加工零件表面（平面、圓柱等外表面）光潔度的儀器。也可以用來測量零件表面刻線、刻槽鍍層（透明）等深度。

儀器配以各種附件，還能測量粒狀，加工紋路混亂的表面，低反射率的工件表面。同時還能將儀器安置在工件上，對大型工件表面進行測量。 儀器測量表面不平深度范圍為1 ～0.03微米，用測微目鏡和照相方法來評定▽10～▽14光潔度的表面。

本儀器適用于廠礦企業(yè)計量室，精密加工車間，也適用于高等院校，科學(xué)研究的單位。

技術(shù)參數(shù)

測量表面光潔度范圍：▽10~▽14（相當于測量表面不平深度范圍為1~0.03微米）

工作物鏡的數(shù)值孔徑 ：0.65

工作距離 ：0.5毫米

儀器的視場： 目視 ?0.25毫米

儀器的放大倍數(shù) ：目視 500倍

測微目鏡放大倍數(shù) ：12.5倍

測微鼓分劃值 ：0.01毫米

綠色干涉濾色片波長： λ≈5300?

半寬度 ：▽λ≈100?

工作臺升程 ：5毫米

X.Y方向移動范圍： ≈10毫米

旋轉(zhuǎn)運動范圍 ：360°

可調(diào)變壓器輸入電壓 ：220或110V

輸出電壓(可調(diào)) ：4V-6V

儀器標準鏡 ：高反射率 ≈50%

儀器外形尺寸： 270*160*230毫米

儀器本體重： ≈5公斤

儀器成套性

1、儀器主體 1件

2、12.5X測微目鏡 1件

3、狹縫目鏡 1件

4、V型塊 1件

5、6伏、5瓦燈泡 6只

6、可調(diào)變壓器220/4伏～6伏 1件

7、試樣夾 1件