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熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡 SU5000

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳市汐品科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 深圳市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2024/7/16 14:31:29
  • 訪問次數(shù) 57

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概述
產(chǎn)品參數(shù)

高性能電子光學(xué)系統(tǒng)

  • 二次電子分辨率: 頂位二次電子探測(cè)器(2.0 nm at 1kV)*

  • 高靈敏度: 高效PD-BSD, 的低加速電壓性能,低至100 V成像

  • 大束流(>200 nA): 便于高效微區(qū)分析

性能優(yōu)異

  • 壓力可變: 具有優(yōu)異的低真空(10 -300 Pa)成像性能,配備高靈敏度低真空探測(cè)器(UVD)*

  • 開倉室快速簡單換樣(樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)

  • 微區(qū)分析: EDS, WDS, EBSD等等

  • *:

  • 選配附件


產(chǎn)品參數(shù)
項(xiàng)目內(nèi)容
分辨率1.2 nm @ 30 kV
3.0 nm @ 1 kV
2.0 nm @ 1 kV 減速模式*1
3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2
放大倍率10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
電子光學(xué)系統(tǒng)電子槍ZrO /W 肖特基式電子槍
加速電壓0.5 - 30 kV (0.1 kV 步進(jìn))
著陸電壓減速模式: 0.1 - 2.0 kV *1
束流> 200 nA
探測(cè)器低位二次電子探測(cè)器
低真空模式*2真空范圍: 10 - 300 Pa
馬達(dá)臺(tái)馬達(dá)臺(tái)控制5 - 軸自動(dòng) (優(yōu)中心)
可動(dòng)范圍X:0~100mm
Y:0~50mm
Z:3~65mm
T:-20~90°
R:360°
樣品尺寸直徑: 200 mm
高度: 80 mm
選配探測(cè)器
  • 高分辨率頂位二次電子探測(cè)器*1

  • 高靈敏度低真空探測(cè)器 (UVD)

  • 5分割半導(dǎo)體探測(cè)器 (PD-BSD)*3

  • 能譜儀 (EDS)

  • 波譜儀 (WDS)

  • 背散射電子衍射探測(cè)器 (EBSD)

  • *1:

  • 減速功能(包含高分辨率頂位二次電子探測(cè)器)

  • *2:

  • 低真空功能(包含5分割半導(dǎo)體探測(cè)器)

  • *3:

  • 空壓機(jī)(本地采購)



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