產(chǎn)品用途：

一般用于材料及產(chǎn)品的應(yīng)力釋放，特別是晶圓或者微電子材料的應(yīng)力釋放。在高溫環(huán)境中，半導(dǎo)體及金屬材料極易氧化，所以需要抽真空與充氮?dú)饴?lián)動(dòng)加以保護(hù)。同樣的這些材料也更容易受到灰塵污染，100級(jí)甚至更高的潔凈度可保護(hù)這些材料不被污染。

型號(hào)

ZK-DQKX-072

ZK-DQKX-270

ZK-DQKX-480

ZK-DQKX-600

ZK-DQKX-720

ZK-DQKX-1000

內(nèi)箱尺寸

40×45×40

60×90×50

80×100×60

100×100×60

100×120×60

100×100×100

W×H×D (cm)

外箱尺寸

72×116×56

93×163×67

110×172×77

130×172×77

116×170×116

116×150×166

W×H×D(cm)

溫度范圍

室溫+25℃～200℃（300℃） RT+25℃～200℃(300℃)

溫度波動(dòng)度

±0.3℃

溫度均勻度

±1%℃

解析精度

0.1℃

氧氣濃度

0-2000 PPM

升溫時(shí)間

30分鐘

外箱材質(zhì)

冷軋板+烤漆

內(nèi)箱材質(zhì)

SUS#201不銹鋼板（200℃以上材質(zhì)為SUS#304不銹鋼板）

隔熱材質(zhì)

玻璃棉

循環(huán)系統(tǒng)

離心風(fēng)機(jī)風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)

加熱系統(tǒng)

SUS#不銹鋼高速加熱器

控制系統(tǒng)

按鍵式數(shù)顯控制器

氮?dú)庀到y(tǒng)

流量計(jì)+壓差表（選配氧氣分析儀）

附件

控制狀態(tài)指示燈，隔層架（2個(gè)，高度可調(diào)）

安全裝置

相序保護(hù)，超溫，過流，過載

電源

AC 3Ψ 380V 60/50Hz

定制服務(wù)

非標(biāo)特殊要求，可定制

結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：

A、材質(zhì)：內(nèi)部采用不銹鋼板制造，外部SS41鋼板鐵材加防銹處理及粉體烤漆

B、保溫：采用高密度100K的耐高溫保溫棉﹐六面保溫絕熱。

C、門   ：?jiǎn)伍_門式,美式全開后鈕，門四周皆裝置耐高溫硅膠迫緊,堅(jiān)固耐用.

D、換氣裝置：換氣量采用全進(jìn)全出可調(diào)式風(fēng)門,可直接與排風(fēng)管連接.

E、機(jī)臺(tái)滑輪：采滑輪移動(dòng)調(diào)整擺放位置與強(qiáng)力螺栓固定位置

F、箱內(nèi)盤架：標(biāo)配可活動(dòng)調(diào)整柵盤架或不銹鋼條狀柵盤二只

G、送風(fēng)系統(tǒng)：特制耐高溫烤箱專用馬達(dá)，配合多翼式風(fēng)輪高速運(yùn)轉(zhuǎn)及單面水平送風(fēng)循環(huán),溫度均勻。

H、電熱系統(tǒng)：采用覆套式電熱器無塵化電熱發(fā)生器，低輻射熱不易氧化，耐用期限5～10年。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1. 內(nèi)外箱材質(zhì)：外箱為鋼板烤漆 內(nèi)膽為鏡面不銹鋼

2. 保溫材質(zhì)： 高效壓縮玻璃棉

3. 保溫裝置： 無熔絲開關(guān)，超溫保護(hù)開關(guān)，瓷質(zhì)保險(xiǎn)絲

4. 配 件： 可調(diào)隔層板2-6件

5. 電 源： 3ф380VAC±10%或2ф220VAC±10%在地

6. 風(fēng)機(jī)延時(shí)斷電功能(可另購(gòu)配程控)

7.高溫氮?dú)夂嫦?/span>保險(xiǎn)裝置: 次超溫報(bào)警,第二次超溫切電功能,MCCB過載保護(hù),溫度自整定,電熱鰭片式散熱管形電熱管

8. 運(yùn)風(fēng)系統(tǒng)： 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)及特別設(shè)計(jì)出風(fēng)口,溫度分布均勻度特佳

9. 控制形成 ：溫度到達(dá)設(shè)定溫度后自動(dòng)打開時(shí)間計(jì),時(shí)間到達(dá)后切斷發(fā)熱電源,蜂鳴提示