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Zeta-388 白光共聚焦

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公司名稱 翌穎科技（上海）有限公司
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型號(hào)
所在地上海
廠商性質(zhì) 其他
更新時(shí)間 2024/9/27 14:10:26
訪問次數(shù) 20

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動(dòng)化，降低對(duì)人的依賴。

Zeta-388 Optical ProfilerZeta-388支持3D量測(cè)和成像功能，并提供整合隔離工作臺(tái)和晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。該系統(tǒng)采用ZDot™技術(shù)，可同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。Zeta-388具備Multi-Mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡(jiǎn)單易用的軟件、低擁有成本，以及SECS / GEM通信，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。

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Zeta-388 Optical Profiler

Zeta-388支持3D量測(cè)和成像功能，并提供整合隔離工作臺(tái)和晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。該系統(tǒng)采用ZDot™技術(shù)，可同時(shí)采集高分辨率3D數(shù)據(jù)和True Color（真彩）無限遠(yuǎn)焦點(diǎn)圖像。Zeta-388具備Multi-Mode（多模式）光學(xué)系統(tǒng)、簡(jiǎn)單易用的軟件、低擁有成本，以及SECS / GEM通信，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。

產(chǎn)品描述

Zeta-388光學(xué)輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測(cè)量系統(tǒng)。 Zeta-388繼承了Zeta-300的功能，并增加了晶圓盒至晶圓盒機(jī)械臂，可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測(cè)量。該系統(tǒng)采用獲得的ZDot™技術(shù)（美國(guó)：編號(hào)US7729049B2；US7944609B2；US8174762B2；US8184364B2；USB2）和Multi-Mode (多模式)光學(xué)系統(tǒng)，可以對(duì)各種不同的樣品進(jìn)行測(cè)量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理，以及納米至毫米級(jí)別的臺(tái)階高度。

Zeta-388的配置靈活并易于使用，并集合了六種不同的光學(xué)量測(cè)技術(shù)。ZDot™測(cè)量模式可同時(shí)收集高分辨率3D掃描和True Color無限遠(yuǎn)焦距圖像。其他3D測(cè)量技術(shù)包括白光干涉測(cè)量、Nomarski干涉對(duì)比顯微鏡和剪切干涉測(cè)量。ZDot或集成寬帶反射計(jì)都可以對(duì)薄膜厚度進(jìn)行測(cè)量。Zeta-388也是一款顯微鏡，可用于樣品檢查或自動(dòng)缺陷檢測(cè)。Zeta-388通過提供全面的臺(tái)階高度、粗糙度和薄膜厚度的測(cè)量以及缺陷檢測(cè)功能，以及晶圓盒到晶圓盒的晶圓傳送，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。