產(chǎn)品概要

M系列探針臺(tái)簡(jiǎn)易輕便，占有空間小且移動(dòng)方便。在保證測(cè)試精度的前提下，又性價(jià)比，非常適合高校教學(xué)實(shí)驗(yàn)使用。如果測(cè)試器件的PAD點(diǎn)大于30μm，M系列則是其中的主選設(shè)備之一。該設(shè)備能勝任各種DC直流，至67GHz的RF射頻，MEMS等測(cè)試應(yīng)用。

基本信息

應(yīng)用方向

廣泛應(yīng)用于DC直流/（IV、CV、I-t、V-t），DC直流/低電流（100f）測(cè)試 ，1/f噪聲測(cè)試 ，器件表征測(cè)試，RF射頻等。

技術(shù)特點(diǎn)

> 全新升級(jí)的卡盤移動(dòng)平臺(tái)

封閉式移動(dòng)平臺(tái)設(shè)計(jì)，防塵，防誤操作，結(jié)構(gòu)美觀； 移動(dòng)平臺(tái)采用THK精密絲杠傳動(dòng)+線性移動(dòng)+無間隙回程差設(shè)計(jì)+卡盤鎖緊功能，多方面提升卡盤移動(dòng)精度。

> 帶有3段真空吸附控制的卡盤

采用中心真空吸附孔和3圈真空吸附環(huán)固定樣品，卡盤每個(gè)真空通道均可獨(dú)立控制。標(biāo)準(zhǔn)卡盤中心吸附孔為1mm直徑，亦可根據(jù)客戶要求定制。同時(shí)卡盤角度可360旋轉(zhuǎn)，微旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)精度0.002°，方便調(diào)節(jié)待測(cè)樣品位置。

> POMater™ 自適應(yīng)隔震底座

自適應(yīng)減震底座設(shè)計(jì)，德國(guó)進(jìn)口隔震材料增強(qiáng)彈性支撐，實(shí)現(xiàn)不同程度的剛性硬度和承載范圍，并有效過濾環(huán)境中的震動(dòng)源干擾，確保探針末端和樣品的Pad穩(wěn)定接觸，提升測(cè)試的穩(wěn)定性。