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雙模式臺(tái)階儀、輪廓儀

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雙模式臺(tái)階儀、輪廓儀詳細(xì)信息儀器簡(jiǎn)介:NanoMap-D掃描三維表面輪廓儀是用于表面結(jié)構(gòu)測(cè)量和表面形貌分析的一款測(cè)量計(jì)量型設(shè)備

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雙模式臺(tái)階儀、輪廓儀

詳細(xì)信息儀器簡(jiǎn)介:

NanoMap-D掃描三維表面輪廓儀是用于表面結(jié)構(gòu)測(cè)量和表面形貌分析的一款測(cè)量計(jì)量型設(shè)備。既可以
用于科學(xué)研究,也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)。
1、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,表面結(jié)構(gòu),缺陷分析,晶粒分析等
2、二維圖像分析:距離,半徑,斜坡,格子圖, 輪廓線等
3、表界面測(cè)量:透明表面形貌,薄膜厚度,透明薄膜下的表面
4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量
5、劃痕形貌,摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量
6、微電子表面分析和MEMS表征

                       

主要特點(diǎn):

高精度
· 的縱向分辨率:0.1 nm ( 接觸式);2 nm(光學(xué)非接觸式)
· 對(duì)周圍環(huán)境和光源的強(qiáng)適應(yīng)性
· 沒有機(jī)械過濾
寬闊的垂直測(cè)量范圍
· 多種選擇光學(xué)頭及接觸式
· 縱向掃描范圍 300 to 3900 μm
· 圖像“縫合”技術(shù)使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內(nèi)
試用于幾乎所有的表面
· 透明,不透明,反射光強(qiáng)等多種材料
· 垂直臺(tái)階,高寬深比,隆起,孔洞
· 脆性的材料,軟材料,柔性材料表面
· 尖銳的,堅(jiān)硬的,磨損的表面
適應(yīng)性強(qiáng)
· 白光光源,人體安全設(shè)計(jì),長(zhǎng)壽命白光LED 免維護(hù)??梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實(shí)驗(yàn)室,甚至工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。
· 接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術(shù)的結(jié)合
· 接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)掃描模式,三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺(tái)掃描使用高級(jí)別光學(xué)參考平臺(tái)能使長(zhǎng)程掃描范圍到50mm。
· 在掃描過程中結(jié)合彩色光學(xué)照相機(jī)可對(duì)樣品直接觀察
· 針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器,同時(shí)擁有寬闊測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍(至500μm)及亞納米級(jí)垂直分辨率?。ㄗ钚。?1nm )
· 軟件設(shè)置恒定微力接觸(0.1 to 100 [mg])

 


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