總體規(guī)格特點:

  l 重量：30kg

  l 尺寸：450mm寬x400mm深x600mm高

  l 優(yōu)化的人體工學設計，便于工程師長時間舒適的操作。

載臺（chuck）規(guī)格： 

  l 4英寸/6英寸載臺，直徑101.6mm/152.4mm，平整度：±3μm

  l 載臺采用真空吸附方式吸附樣品，小吸附樣品尺寸為5mmx5mm 

  l 載臺X-Y軸微調(diào)行程101.6mmX101.6mm，微調(diào)分辨率1μm

  l 載臺Z軸方向微調(diào)升降10mm，微調(diào)分辨率1μm

  l 載臺水平角度調(diào)節(jié)范圍0°～360°，旋轉(zhuǎn)精度0.01°

  l 載臺電學獨立懸空，可作背電極使用。

針座臺面規(guī)格:

  l U型拋光不銹鋼臺面

  l 針座臺面平整度：±3μm

  l 可容納針座數(shù)量：4~6個。

顯微鏡操縱規(guī)格:

       l 配有擺臂調(diào)節(jié)機構(gòu)，可調(diào)節(jié)顯微鏡在X-Y任意方向的快速移動

  l 顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦旋鈕，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動精度1μm。

應用場景：

  l 直流IV/CV測試  

  l Pulse IV測試

  l 阻抗測試

  l 時域分析測試

  l 有源射頻測試

  l 無源射頻/微波測試。