| 型號 | LCVD-G6 | LCVD-G8.5 |
| 外形 | 2,850mm(寬)x2,500mm(長)x2,500 mm(高) | 4,000mm(寬)x3,500mm(長)x2,500 mm(高) |
| 重量 | 約7500公斤 | 約10500公斤 |
| 電力需求 | 380V，50Hz, 3Phase, approx. 40A Max | 380V，50Hz, 3Phase, approx.60A Max |
| 可修復(fù)產(chǎn)品尺寸 | 長寬≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm | 長寬≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm |
| 修復(fù)能力 | 沉積材質(zhì) | W,Cr,Mo,Al | 激光特性 | 激光系統(tǒng) | DPSS激光切割系統(tǒng) |
| 沉積線路速度 | 5~10um/s(厚度5000 ?) | CW激光沉積系統(tǒng) |
| 單處缺陷修復(fù)時(shí)長 | 定位后，修復(fù)單處缺陷時(shí)間在5s左右 | 能量調(diào)節(jié)精度 | 0-1000 steps |
| 工藝參數(shù) | 軟件可以添加任意組工藝參數(shù) | 0-99% |
| Cutting寬度 | 2um到50um可調(diào) | Slit 窗口調(diào)節(jié)大小 | 0~2.4mm |
| 沉積寬度 | 3um到30um可調(diào) | Slit 窗口控制精度 | 1um |
| 沉積邊緣精度 | +-0.5um | 激光能量校準(zhǔn)方式 | 自動校準(zhǔn) |
| 沉積厚度 | 2000 ? ~15000?可調(diào) | 校準(zhǔn)時(shí)間 | 3mins |
| 沉積線路的電阻值 | <65歐姆 (寬度5um, 長度50um,厚度5000 ?) | 激光能量校準(zhǔn)精度 | 優(yōu)于2% |
| 沉積穩(wěn)定性 | 1.清洗機(jī)清洗次數(shù)>10 times | 激光波長 | Cut Laser :IR 1064nm，GRN 532nm，UV 266nm |
| 2.棉簽蘸丙酮擦拭>500次 | CVD CW laser :NUV/UV |
| 3.強(qiáng)酸堿測試>1H | 脈寬 | < 12 ns |
| 3.毛刷擦拭>1H | 光斑尺度 | 2.0~ @50X object 1064nm (在標(biāo)準(zhǔn)mask上測試) |
| 4.超聲波1MHZ>1H | 掃描面能量均勻性 | 優(yōu)于5% IR |
| 平臺功能 | Gantry結(jié)構(gòu) | 龍門式 | 激光壽命 | Cut Laser:10億次激發(fā) |
| X-Y-Z運(yùn)動行程 | LCVD-G6 1500 *1850*58mm(X-Y-Z) | CVD CW laser: 8000小時(shí) |
| LCVD-G8.5 2500 *2200*58mm(X-Y-Z) | 修復(fù)工作模式 | Scan掃描式和 Step模式 |
| X-Y運(yùn)動速度 | 0~400mm/s可調(diào) | 掃描路徑 | 可任意定義路徑 |
| 精度(最小移動量) | 0.1um | 控制 | 工作模式 | 自動修復(fù)，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動導(dǎo)入和輸出，聯(lián)機(jī)通訊手動或者半自動修復(fù) |
| Z 運(yùn)動速度 | 0~2mm/s可調(diào) |
| 精度(最小移動量) | 0.1um | 上下片 | 機(jī)械手或者流水線 |
| 重復(fù)定位精度 | +-5um | CIM系統(tǒng) | 有 |
| 修復(fù)對位精度 | 0.1um | 減震 | 主動式減震系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動 |
| 光學(xué)特性 | 光路系統(tǒng)倍率： | 50X~ 1000X |
| 5X ,10X ,20X , 50X NIR, 50X UV,50X NUV Objects | 工業(yè)PC | 23寸顯示器&電腦：i7 處理器，1TB硬盤2塊(其中一塊為備份硬盤)，8G內(nèi)存，1G獨(dú)立顯卡，DVD-ROM |
| 光學(xué)分辨率 | 0.7um |
| 物鏡切換速度 | 0.2~0.7s | 通訊接口 | RS232/EtherCAT/GPIB等 |
| 切換鏡頭偏差 | 小于3um | 安全 | 整機(jī)帶屏蔽罩，操作人員在屏蔽罩外操作 |
| 聚焦 | 激光自動聚焦 | 緊急開關(guān)EMO |
| 相機(jī) | 200萬像素 | 限位sensor，運(yùn)動平臺和激光系統(tǒng)限位互鎖 |
| 照明 | 平臺有下光源，并且能夠上下光源切換，屏蔽罩內(nèi)安裝照明，照度達(dá)到1000lux以上。 | Interlock報(bào)警，自動關(guān)閉系統(tǒng)(軟件設(shè)置為可選) |
| 應(yīng)用方向 | TFT-LCD 和 OLED Array Panel 布線開路和短路的修復(fù),Mask 的缺陷修復(fù) |
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| 特點(diǎn)： |
| 穩(wěn)定的修復(fù)結(jié)果 | 功能豐富的軟件 |
| 超高的修復(fù)精度 | 可以編輯修復(fù)形狀 |
| 0.1um精度的直線電機(jī)平臺 | 自動AOI定位 |
| 極小的損傷 | 可做多工位設(shè)計(jì) |
| 1um的激光精度 | 自動上下片 |
