Profilm3D 光學(xué)輪廓儀

低成本–高精度

Filmetrics讓3D光學(xué)輪廓測量的價格變得更加能夠接受。Profilm3D使用的垂直干涉掃描(WLI)與高精度的相位干涉(PSI)技術(shù)。以的價格實現(xiàn)次納米級的表面形貌研究。

100mm自動XY樣品臺

您還在位每人都希望要的功能而支付額外的費用嗎？我們現(xiàn)在每臺Profilm3D都將100mm自動XY樣品臺，4孔物鏡轉(zhuǎn)臺和手動調(diào)平裝置作為標(biāo)準(zhǔn)配置。

超大的視場范圍

Profilm3D僅用10倍物鏡就提供了達(dá)到2mm的超大視場范圍，同時其4倍光學(xué)變焦的功能緩解了不同應(yīng)用時切換多個物鏡的需求。這些都進(jìn)一步降低了采購成本。

• 特征值

• 8 μm 臺階高度

• 精確度是指每天測量30次10um臺階高度標(biāo)樣的1次標(biāo)準(zhǔn)差，連續(xù)成功測量20天的平均值。環(huán)境溫度穩(wěn)定性小于 1°C。

• 穩(wěn)定性是指連續(xù)成功測量10um臺階高度標(biāo)樣20天，取每天測量30次數(shù)值的平均值，計算2倍標(biāo)準(zhǔn)差。環(huán)境溫度穩(wěn)定性小于 1°C。

• 所有變焦縮放后的有效像素為648 x 484 (通過數(shù)位化的pixel binning實現(xiàn))

• 分開銷售

• 樣品上投影的像素大小

• 樣品表面粗糙時可測傾角將更大