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SuperView W3白光干涉儀

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基本介紹: 原理:非接觸、三維白光掃描干涉儀

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一、產(chǎn)品簡介

  SuperView W3白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

 

  SuperView W3白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

 

二、產(chǎn)品功能

  1)樣件測量能力:滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量;

  2)自動測量功能:自動單區(qū)域測量功能、自動多區(qū)域測量功能、自動拼接測量功能;

  3)編程測量功能:可預(yù)先配置數(shù)據(jù)處理和分析步驟,結(jié)合自動測量功能,實(shí)現(xiàn)一鍵測量;

  4)數(shù)據(jù)處理功能:提供位置調(diào)整、去噪、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

  5)數(shù)據(jù)分析功能:提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

  6)批量分析功能:可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板,針對同類型參數(shù)實(shí)現(xiàn)一鍵批量分析;

 

三、半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)m棶a(chǎn)品功能

  1)同步支持6、8、12英寸三種規(guī)格的晶圓片測量,并可一鍵實(shí)現(xiàn)三種規(guī)格的真空吸盤的自動切換以適配不同尺寸晶圓;

  2)具備研磨工藝后減薄片的粗糙度自動測量功能,能夠一鍵測量數(shù)十個小區(qū)域的粗糙度求取均值;

  3)具備晶圓制造工藝中鍍膜臺階高度的測量,覆蓋從1nm~1mm的測量范圍,實(shí)現(xiàn)高精度測量;

 

四、應(yīng)用領(lǐng)域

  對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

半導(dǎo)體制造(減薄粗糙度、鐳射槽道輪廓)光學(xué)元器件.曲率&輪廓尺寸&粗糙度
(超精密)加工.輪廓尺寸&角度表面工程(摩擦學(xué)).輪廓面積&體積
3C電子(玻璃屏).粗糙度標(biāo)準(zhǔn)塊.臺階高&粗糙度

 

五、樣品測試報告:

  點(diǎn)擊表格內(nèi)圖片或文字可查看詳細(xì)報告數(shù)據(jù)

 

 光學(xué)玻璃鏡片樣品測試報告

金屬片表面摩擦磨損樣品測試報告

石英砂樣品測試報告

手機(jī)配件樣品測試報告

超光滑凹面樣品測試報告

薄膜粗糙度測試報告

微光學(xué)器件樣品測試報告

微納結(jié)構(gòu)樣品測試報告

微透鏡陣列樣品測試報告


 

 

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。



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