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ILPT 潔凈真空氮氣箱

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本產(chǎn)品適用于材料及產(chǎn)品的應力釋放,特別是晶圓或者微電子材料的應力釋放

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本產(chǎn)品適用于材料及產(chǎn)品的應力釋放,特別是晶圓或者微電子材料的應力釋放。在高溫環(huán)境中,半導體及金屬材料極易氧化,所以需要抽真空與充氮氣聯(lián)動加以保護。同樣的這些材料也更容易受到灰塵污染,100級甚至更高的潔凈度可保護這些材料不被污染。

 潔凈度保證方式: 采用耐高溫高效過濾器, 過濾率0.3μm粒子99.97%以上。槽內空氣在強制送風機的驅動下,每一次循環(huán)都通過過濾器,槽內的顆粒逐漸的被過濾

 

      氧濃度控制方式:   采用先抽真空后進高純度N2置換槽內空氣。

    為提高生產(chǎn)效率,開始進N2時,2路N2同時進入槽內,氧濃度到達后,變?yōu)樾?/p>

流量維持,且進N2與排N2平衡的方式,既把槽內的空氣、廢氣排走,又保證槽內是

一微正壓,防止環(huán)境空氣進入。

氧濃度控制方式:   采用先抽真空后進高純度N2置換槽內空氣。

    為提高生產(chǎn)效率,開始進N2時,2路N2同時進入槽內,氧濃度到達后,變?yōu)樾?/p>

流量維持,且進N2與排N2平衡的方式,既把槽內的空氣、廢氣排走,又保證槽內是

一微正壓,防止環(huán)境空氣進入。





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