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半導(dǎo)體精密充氮高溫試驗(yàn)箱

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一、設(shè)備名稱(chēng):精密充氮高溫試驗(yàn)箱型號(hào):LS-RUL-60CN二、技術(shù)指標(biāo)及驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)1

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一、 設(shè)備名稱(chēng):精密充氮高溫試驗(yàn)箱

型號(hào):LS-RUL-60CN

二、技術(shù)指標(biāo)及驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)

1.性能(為空載時(shí),其室溫在25℃)

1.1 溫度范圍:RT+10~200℃

1.2 溫度控制穩(wěn)定度:±0.5℃

1.3 分布均度:±1%(按GB標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試9點(diǎn)溫度)

1.4 升溫時(shí)間:由常溫升至200℃約需40分鐘

1.5 內(nèi)部尺寸:W60*H60*D60cm

1.6 外部尺寸: W110*H97*D83

1.7 氮?dú)庹{(diào)節(jié)范圍:0~30L/min

1.8 設(shè)備表面溫度≤室溫+15℃

1.9電源:三相380V 50Hz,加熱器功率3 KW 風(fēng)機(jī)功率550W

1.10驗(yàn)收以具有相關(guān)資質(zhì)的第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)出具的檢測(cè)報(bào)告為準(zhǔn)

三.詳細(xì)配置:

1 內(nèi)箱材質(zhì): 不銹鋼板(SUS #304光面1.2mm厚),不銹鋼全周焊.

2外箱材質(zhì): 特殊鋼板 + 粉體烤漆(1.2mm厚)

3 保溫材質(zhì): 高密度之玻璃纖維棉

4 排氣孔 : 4”排氣孔(位置設(shè)備左側(cè))

5 加 熱 器:

a.采用SUS316不銹鋼加熱器.

b.獨(dú)立系統(tǒng),不影響控制線(xiàn)路.

c.溫度控制輸出功率均經(jīng)由微電腦演算,以達(dá)高精度與高效率之用電效益.

6 送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng):

a.采用風(fēng)扇馬達(dá)不銹鋼加長(zhǎng)軸心 + 耐高低溫之不銹鋼風(fēng)葉式結(jié)構(gòu)循環(huán)風(fēng)扇,以達(dá)強(qiáng)制對(duì)流水平擴(kuò)散循環(huán).

b.入排風(fēng)口手調(diào)控制閥.

7 箱門(mén):單片門(mén),左開(kāi),把手在右手邊

a.平面嵌入式把手

b.鉸鏈:SUS #304

8 溫度控制器: 中國(guó)臺(tái)灣CAHO

a.溫度傳感器采用 DIN PT-100Ω (白金感應(yīng))控制器分辨率為:0. 1℃

b.溫度控制均采用 P.I.D.+ S.S.R.系統(tǒng)同步協(xié)調(diào)控制,可提高控制組件與界面使用之穩(wěn)定性及壽命。

c.按鍵式設(shè)定、數(shù)字直接顯示

d.具有 P.I.D.自動(dòng)演算之功能,可減少人為設(shè)定時(shí)所帶來(lái)之不便

e.自動(dòng)超溫保護(hù)功能

f.停電記憶裝置5年

g.定時(shí)功能 1min~999H

9 控制面板:

a.照光式壓扣開(kāi)關(guān)二只

b.超溫保護(hù)開(kāi)關(guān)一只

c.通電指示燈

d.定時(shí)器一組

e.故障指示燈一只

10.氣氛控制系統(tǒng):

a) N2入氣手動(dòng)閥

b) N2入氣調(diào)壓閥

c) N2入氣浮子流量計(jì)(100L/min)

d) N2入氣電磁閥

e) 入氣調(diào)和配管系統(tǒng)

11 安全保護(hù)裝置:

a.超溫保護(hù)開(kāi)關(guān)1組

b.動(dòng)力保險(xiǎn)絲一只

c.控制回路保險(xiǎn)絲二只

d.循環(huán)馬達(dá)過(guò)載保護(hù)

c.無(wú)熔絲開(kāi)關(guān)

12.其他附屬配件:

12.1測(cè)溫傳感器: T Type 1支

12.2 試料置放架:

a.柵欄式置物架2片

b.可調(diào)整間距50mm置物架軌道2組

c.迫緊:耐高溫之高張性硅膠發(fā)泡迫緊






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