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無(wú)氧化精密高溫箱

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技術(shù)規(guī)格書設(shè)備名稱:無(wú)氧化精密高溫箱型號(hào):LS-OPH-250適用范圍:該產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體芯片年,在無(wú)氧條件下向工作室充入惰性氣體-氮?dú)鈱?duì)物品進(jìn)行干燥、加熱處理等試驗(yàn),特別對(duì)一些成分復(fù)雜的物品能進(jìn)行快速干燥

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術(shù) 規(guī)

設(shè)備名稱:無(wú)氧化精密高溫箱

型號(hào):LS-OPH-250


適用范圍:

該產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體芯片年,在無(wú)氧條件下向工作室充入惰性氣體-氮?dú)鈱?duì)物品進(jìn)行干燥、加熱處理等試驗(yàn),特別對(duì)一些成分復(fù)雜的物品能進(jìn)行快速干燥。

技術(shù)參數(shù):

內(nèi)部尺寸:(W)65 X (D)60 X (H)65 cm (兩箱式)

外形尺寸: (W)134 X (D)104 X (H)198 cm

溫度范圍:RT+10℃~250℃;

升溫速率:室溫升至175℃≤30分鐘

室溫升至200℃≤40分鐘 (空爐測(cè)試);

降溫速率:175℃降溫至80℃≤30分鐘(空爐測(cè)試);

含氧量:可達(dá)200PPM以下,氮?dú)獠怀鋾r(shí)會(huì)發(fā)出警報(bào)。

設(shè)備安裝條件

1.電源:AC 380V 3φ 50HZ 9KVA(每箱) 電源線長(zhǎng)5m,

2.壓縮空氣:1/2”冷空氣入口,氣源壓力大于5 kgf/cm2 ,配置Ⅱ級(jí)空氣過(guò)濾器,過(guò)濾精度為5μm。

3.氮?dú)猓?/2”冷空氣入口,氣源壓力大于5 kgf/cm2,純度99.99%,配置Ⅱ級(jí)空氣過(guò)濾器,過(guò)濾精度為5μm。

4.冷卻水:≥10MΩ純水,水溫15℃左右,水流量25L/MIN,水壓力4~6KG

5.排風(fēng):強(qiáng)排:1個(gè),流量:500L/min,管徑: 100mm。

6.接地:外殼保護(hù)接地電阻≤1Ω



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