本公司百級無塵烤箱系用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

·  在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到 Class 100；

·  全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；

·  采平面水平由后向前送風后經 H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率 99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)；

·  強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結構，溫度場分布均勻，智能 P.I.D 溫控系統(tǒng)，得到溫度控制精度