潔凈氮?dú)夤?/p>
★潔凈氮?dú)夤癞a(chǎn)品說(shuō)明：
● 控制方式：采用濕度/氧含量控制的方法。
● 100級(jí)高潔凈過(guò)濾器FFU采用美國(guó)等進(jìn)口品牌。
● 離心風(fēng)機(jī)采用德國(guó)等進(jìn)口品牌。
● 采用可選配高品質(zhì)靜電消除裝置。
● 對(duì)氮?dú)膺M(jìn)行前期潔凈預(yù)處理。
● 采用雙數(shù)顯式控制器，對(duì)箱內(nèi)濕度或含氧量進(jìn)行顯示和控制（二選一）。設(shè)備具有很好的密封性能，塵埃過(guò)濾，水平或垂直送風(fēng)。
● 設(shè)備可由濕度和氮濃度檢測(cè)顯示,氮?dú)饬髁靠刂?高潔凈過(guò)濾器受阻等多個(gè)系統(tǒng).
● 控制儀可選配置進(jìn)行溫濕度含氮量數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)顯示,輸出和報(bào)警功能。
● 模組化設(shè)計(jì)：本機(jī)器采用的模組化設(shè)計(jì)，溫濕度顯示器、控制系統(tǒng)、除塵系統(tǒng)及除靜電系統(tǒng)均能快速更換，保養(yǎng)及維修簡(jiǎn)便，大大提升維護(hù)效率。
★產(chǎn)品應(yīng)用：
● 適合半導(dǎo)體前端單晶硅制程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現(xiàn)象；由于大部分的存儲(chǔ)柜或者是氮?dú)夤裨O(shè)計(jì)都為全封閉環(huán)境，只控制濕度及氧含量濃度這塊，并無(wú)自?xún)艄δ?故內(nèi)部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲(chǔ)品上。潔凈氮?dú)夤?/span>則適合存放需要低濕保存，同時(shí)又需要避免灰塵污染的物品.
★規(guī)格參數(shù)：
● 潔凈等級(jí)：Class 100
● 規(guī)格尺寸：W1310*D800*H1990mm
● 材 質(zhì)：SUS304雙鏡面
● 潔凈等級(jí)：Class 100
● 除濕等級(jí)：5RH%以下
● 溫度精度：±1℃
● 濕度精度：±3%RH
● 層 數(shù)：3層
● 電 壓：220V 50Hz
★技術(shù)指標(biāo)：
1）潔凈等級(jí)
專(zhuān)業(yè)高效潔凈過(guò)濾裝置，濾網(wǎng)采用進(jìn)口超細(xì)玻璃纖維,確保潔凈柜內(nèi)CLASS 100~1000級(jí)。
2）TDH參數(shù)
即存放在潔凈柜內(nèi)經(jīng)過(guò)干燥2小時(shí)的硅片不能有不正?；虺瑯?biāo)返顆粒的現(xiàn)象產(chǎn)生。
3）降濕速度
除濕性能可達(dá)到5%以下,空柜或每層放置固定盒，在氮?dú)饬髁坎淮笥?/span>70L/M的情況下，濕度從50%降至10%所需時(shí)間不大于30min；
4) 進(jìn)口無(wú)塵風(fēng)機(jī)：采用進(jìn)口無(wú)塵室專(zhuān)用FFU風(fēng)機(jī)，面風(fēng)速：0.3～0.45m/s；
5）靜電殘余值（選配）
潔凈氮?dú)夤駜?nèi)放置的硅片盒，經(jīng)過(guò)干燥2小時(shí)后，硅片盒取樣及定點(diǎn)測(cè)試靜電值必須≦1kv
6）風(fēng)速均勻性
潔凈柜內(nèi)有氮?dú)獾?，可使用風(fēng)速測(cè)定儀來(lái)檢測(cè)內(nèi)部硅片放置各點(diǎn)的風(fēng)速，不能有較大差異。
7）溫濕度顯示管理。
溫濕度顯示：采用4英寸超大LED顯示，有效視距可達(dá)30米；
溫濕度顯示監(jiān)控: 可對(duì)溫濕度作24小時(shí)不間斷的監(jiān)控，在潔凈柜在關(guān)閉的情況下，濕度不能有超過(guò)±5%RH的波動(dòng)。
