Park Systems原子力顯微鏡 XE-7，的納米領(lǐng)域研究利器。的三軸分離設(shè)計(jì)，既保證了XYZ三個(gè)方向無耦合效應(yīng)，從原理上消除了平面扭曲誤差；同時(shí)獨(dú)立的Z軸掃描器，實(shí)現(xiàn)了真正的非接觸式掃描，極大地?cái)U(kuò)展了樣品適用范圍。自上而下的直視光路，方便用戶對(duì)探針和樣品的觀察，專門設(shè)計(jì)的探針安裝方式，簡(jiǎn)化了光路調(diào)整過程，降低了操作難度。

Park Systems原子力顯微鏡 XE-7

儀器簡(jiǎn)介:

    的納米領(lǐng)域研究利器。的三軸分離設(shè)計(jì)，既保證了XYZ三個(gè)方向無耦合效應(yīng)，從原理上消除了平面扭曲誤差；同時(shí)獨(dú)立的Z軸掃描器，實(shí)現(xiàn)了真正的非接觸式掃描，極大地?cái)U(kuò)展了樣品適用范圍。自上而下的直視光路，方便用戶對(duì)探針和樣品的觀察，專門設(shè)計(jì)的探針安裝方式，簡(jiǎn)化了光路調(diào)整過程，降低了操作難度。

Park Systems原子力顯微鏡 XE-7技術(shù)參數(shù)：

掃描器

XY掃描器

柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器

掃描范圍10μm*10μm（可選50μm*50μm ，100μm*100μm）

平面偏移度:<2nm（40μm*40μm掃描）

Z掃描器

柔性制導(dǎo)強(qiáng)力掃描器

掃描范圍12μm（可選25μm）

共振頻率：>5kHz

表面成像噪聲：0.03nm

樣品臺(tái)

樣品尺寸： 100mm*100mm*20mm

樣品重量：zui大500g

樣品臺(tái)移動(dòng)范圍：13mm*13mm

主要特點(diǎn)：

一、精確的XY方向掃描，消除了交叉耦合誤差

●使用獨(dú)立的閉環(huán)XY平板式掃描器和Z軸掃描器

●平板式的掃描掃描器，殘留彎曲誤差極小

●整個(gè)掃描范圍內(nèi)的水平線性誤差小于2nm

●精確的高度測(cè)量

二、Non-Contact™(真正非接觸) 模式能夠延長(zhǎng)針尖壽命，提供高分辨率及保護(hù)樣品

●Z伺服速度是壓電陶瓷管的10倍

●非接觸模式可降低針尖磨損、延長(zhǎng)使用壽命

●成像分辨率優(yōu)于同類原子顯微鏡

●增強(qiáng)樣品兼容性，提高掃描精度

三、zui豐富的功能拓展

●支持多種SPM模式

●支持多種選配測(cè)量模式

●支持各種可選配件，擴(kuò)展性能

四、zui為便利的使用設(shè)計(jì)

●開放式樣品空間，提高樣品及針尖更換效率

●預(yù)對(duì)準(zhǔn)針尖安裝和同軸直視光路直觀地實(shí)現(xiàn)激光對(duì)準(zhǔn)

●燕尾鎖方便掃描頭拆卸