測(cè)量范圍:200mm×100mm
分辨率:0.0002mm
準(zhǔn)確度:(1+L/100)μm(其中 L為測(cè)量長(zhǎng)度,單位:mm)
工作臺(tái)
平工作臺(tái)尺寸:260mm×270mm
圓工作臺(tái)直徑:φ 213mm
圓工作臺(tái)角度分劃范圍:0°~ 360°
圓工作臺(tái)角度分度值:30"
物鏡
總放大率 | 物鏡放大率 | 工作距離 | 物方視場(chǎng) |
1× | 10× | 79mm | Φ20mm |
3× | 30× | 69mm | Φ6.6mm |
5× | 50× | 49mm | Φ4mm |
主顯微鏡立柱
傾斜范圍:±12°
傾斜角度分度值:30'
測(cè)角目鏡
角度分劃范圍:360°
角度分度值:1'
輪廓目鏡
角度分劃范圍:±7°
角度分度值:10'
頂針裝置
夾持長(zhǎng)度:700mm
夾持直徑:φ100mm
高頂針架
夾持長(zhǎng)度:200mm
夾持直徑:φ250mm
圓分度頭
角度分劃范圍:0°~ 360°
角度分度值:1′
光學(xué)定位器
測(cè)桿垂直方向擺動(dòng)范圍:±3°
最小探測(cè)孔徑:φ5mm
探測(cè)深度:15mm
定位變動(dòng)性:<1μm
測(cè)量力(N):0.1±0.03
環(huán)境要求:室溫20±1℃,相對(duì)濕度40%-60%RH
儀器外形尺寸(mm) :長(zhǎng)1300×寬1250×高800
儀器質(zhì)量:450kg