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XT H 320柜式系統(tǒng)

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XTH320是一款大型柜式系統(tǒng),適用于對大尺寸元件進行X射線CT掃描和測量

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XT H 320是一款大型柜式系統(tǒng),適用于對大尺寸元件進行X射線CT掃描和測量。該系統(tǒng)的320千伏微焦點射線源提供高達320瓦的功率。它采用高分辨率探測器采集生成樣品的高質(zhì)量圖像。該系統(tǒng)由Inspect-X軟件控制,使CT數(shù)據(jù)的采集和測量設(shè)置更加簡單易行。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的查看軟件可以讀取該系統(tǒng)輸出的體積數(shù)據(jù)。
 

320千伏微焦點
大多數(shù)系統(tǒng)供應(yīng)商只提供225千伏的微焦點源,電壓值再往上就無法做到微焦點,而是小焦點。大型樣品通常需要更大的穿透力,因此Nikon Metrology提供320千伏微焦點X射線源。由于這些源的X射線焦點尺寸比小焦點源小幾個數(shù)量級,最終用戶將享有更高的分辨率和精度以及范圍更廣泛的可測量部件。



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