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尼康檢查顯微鏡2

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FPD/LSI檢查顯微鏡ECLIPSEL300N反射專用型ECLIPSEL300ND透反射兩用型集尼康光學技術于一身的CFI60光學系統(tǒng),在亮度、對比度和可操作性能方面都達到的高度,適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查

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FPD/LSI檢查顯微鏡
ECLIPSE L300N 反射專用型
ECLIPSE L300ND 透反射兩用型

集尼康光學技術于一身的CFI60光學系統(tǒng),在亮度、對比度和可操作性能方面都達到的高度,適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查。

觀察樣品:?300 mm晶片
觀察倍率15X~3000X(視目鏡和物鏡的組合而定);
使用CFI60光學系統(tǒng),消除耀斑影響,對比度更高,成象更加清晰、明亮;
物鏡齊焦距為60mm,可以兼顧高數(shù)值孔徑和長工作距離兩方面的要求;
主機剛性高,具有很好的抗振性能,具有防塵、防污染、防靜電功能;
光亮調節(jié)、孔徑調節(jié)、物鏡轉換等操作都集中在前面,使用方便,即使長期操作也不易產生疲勞;
   
                 L300ND/反射.透射照明兩用型
   

規(guī)格

 ECLIPSE L300NECLIPSE L300ND
(落射照明型)(透射/落射照明型)
主機

內置12V-50W鹵素燈光源;內置用于電動控制器的電源

用于物鏡轉換器的電動控制器、鹵素燈亮度控制、

光圈葉片控制器


物鏡轉換器:具備物鏡轉換器

對中功能的電動通用六座物鏡轉換器

          —反射/透射切換器
調焦
部分

對焦部:行程29mm

粗調:12.7mm/轉(可扭距調節(jié).帶重新對焦機能)

微調:0.1mm/轉(以um為單位)

反射
照明部

12V50W高亮度鹵素燈照明裝置

孔徑光闌(電動.可調心)、視場光闌(固定.帶對焦目標)

可插入小孔光闌滑塊(OPTION)

可插入∮25mm濾光片(NCB、ND2、ND4)、起偏器/檢偏器

觀察方法:明場、暗場、簡易偏光、微分干涉、反射熒光

(僅用于L300N/L300ND/L200ND

透射
照明部
         —

12W50W高亮度鹵素燈
照明裝置

內置孔徑光闌

內置LWD聚光器

接口USBx1,RS232C(用于Intensilight)x1
鏡筒

L2-TTA超大視場正立調傾式三目鏡筒(視角030°

視場數(shù)25、光分光100:0/0:100

L2-TT2A超大視場正立調傾式三目鏡筒(俯角0~30°)

視場數(shù)25、光分光100:0/20:80

LV-T13正立三目鏡筒

視場數(shù)25、光分光100:0/0:100

目鏡CFI目鏡
物鏡CFI60系列物鏡

載物臺

14x12載物臺、行程354mmx302mm

(透射觀察范圍:354mmx268mm

帶粗/微動切換功能

微動手輪位置固定

防靜電
功能
從1000到10V放電時間在0.2秒以內
耗電1.2A/90W
尺寸約360(W)x581(H)x951(D)mm(傾斜角度為10°時



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