Sensofar 三維表面輪廓儀 S Lynx

S Lynx可以實(shí)現(xiàn)白光共聚焦、白光干涉和Ai多焦面疊加三種功能的切換。使客戶無需花費(fèi)高昂的費(fèi)用就能同時(shí)擁有共聚焦顯微鏡和干涉儀，相較與S Neox具有，對(duì)于無須電動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行大范圍拼接和批量檢測(cè)的用戶具有超過的性價(jià)比

客戶即擁有共聚焦技術(shù)的超高XY軸分辨率0.14um,又有干涉技術(shù)的亞納米級(jí)Z軸分辨率可達(dá)0.1nm及高達(dá)0.1%的測(cè)量重復(fù)性。

技術(shù)指標(biāo)

一、硬件部分

1.1 光源及壽命

長(zhǎng)壽命高亮度白色LED （550nm)   40000小時(shí)以上

1.2 真彩色成像

圖像色彩及還原性更好

1.3   XY分辨率

0.17um

1.4 顯微鏡共焦裝置

MicroDisplay設(shè)計(jì)，測(cè)量頭內(nèi)無運(yùn)動(dòng)部件

1.5   物鏡轉(zhuǎn)換器及物鏡

1.5.1 電動(dòng)五孔物鏡轉(zhuǎn)換器

1.5.2 物鏡參數(shù)

1.6 視野范圍

117-3508um

1.7 樣品側(cè)面觀察能力

86度

1.8 載物臺(tái)行程及樣品高度

可傾斜±3度，手動(dòng)載物臺(tái)行程于150X100mm，尺寸為240X155mm高度支持150mm

可滿足φ0.2-20長(zhǎng)度5-10mm的工件粗糙度形貌測(cè)量。

1.9 內(nèi)置專業(yè)避震裝置

有

1.10 適用材料

     表面反射率0.5~99%

適用材料：金屬、塑料、陶瓷、玻璃等多種材料。

1.11 放大倍數(shù)

100-20000

1.12 觀察方式

白光干涉，白光共聚焦和多焦面疊加，三種掃描均為非接觸式。

1.13掃描速度

Z掃描速度為2-5微米/秒。掃描50微米高度形貌約30秒。

二、軟件部分

2.1粗糙度測(cè)量部分

2.1.1 同時(shí)具備線粗糙度和面粗糙度測(cè)量的能力

2.1.2 粗糙度標(biāo)準(zhǔn)

ISO25178 國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

2.2 觀察輔助

明場(chǎng)，暗場(chǎng)，白光共聚焦、共聚焦狹縫

2.3 拼圖功能

有，拼接范圍為電動(dòng)平臺(tái)移動(dòng)行程

2.4 具備免費(fèi)離線軟件與共享功能

2.5 自動(dòng)操作記憶功能

可存儲(chǔ)測(cè)量參數(shù)，可自動(dòng)測(cè)量表面粗糙度。如選配批量分析軟件，可自動(dòng)分析結(jié)果給出報(bào)告

2.6 操作系統(tǒng)

WINDOWS10 64bit

2.7 操作軟件支持的語(yǔ)言

中文、英文

2.8   窗口設(shè)計(jì)

按鍵式，可保存及調(diào)用參數(shù)

2.9 支持的掃描模式

白光干涉、相位差干涉、共聚焦

三、測(cè)量性能與追溯性

3.1   XY分辨力

分辨能力不低于0.17微米

3.2 測(cè)量顯示分辨率

0.01nm

3.3   Z軸測(cè)量分辨率

共聚焦1nm   VSI模式下1nm

3.4   載物臺(tái)Z軸線性度、行程及分辨率

線性度為<0.5μm/mm,行程為40mm，分辨率為2 nm

3.5   Z軸測(cè)量重復(fù)性

臺(tái)階高度重復(fù)精度小于0.1%