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ECS 室溫納米精度位移臺

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attoECS系列位移臺在提供*精度位移控制的同時,保證了優(yōu)異而*的穩(wěn)定性能,適用于室溫、大氣到超高真空環(huán)境中,負(fù)載可達幾公斤,行程達到50mm,zui小步長50nm,配備的光學(xué)位移傳感器可將位移精度控制到10nm,提供多維度位移功能。

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EcoSmart Drive系列納米精度位移臺

attoECS系列位移臺在提供*精度位移控制的同時,保證了優(yōu)異而*的穩(wěn)定性能,適用于室溫、大氣到超高真空環(huán)境中,負(fù)載可達幾公斤,行程達到50mm,zui小步長50nm,配備的光學(xué)位移傳感器可將位移精度控制到10nm,提供多維度位移功能。

+ 在厘米級的行程范圍內(nèi),達到納米級高精度位移控制

+ *的機械穩(wěn)定性

+ 位移驅(qū)動電壓<45V,無需高壓屏蔽

+ 10nm位移精度,+/-200nm位移重復(fù)性,<0.01%精度

+ 特殊材質(zhì),兼容各種光學(xué)實驗環(huán)境和超高真空環(huán)境

+ 快速樣品更換裝置


attoECS系列位移臺部分技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱

ECS3030

ECS3040

ECS3050

ECS3060

ECS3070

ESC3080

位移解碼器型號

光電解碼器 (/NUM)

適用環(huán)境

/RT, /HV, /UHV

位移器尺寸(mm3

30x30x9.5

30x40x9.5

30x50x9.5

30x60x9.5

30x70x9.5

30x80x9.5

zui大負(fù)載

90N

120N

150N

180N

210N

240N

zui大速度 (45V, 5kHz)

4.5mm/s

行程

20mm

25mm

30mm

35mm

40mm

50mm

傳感器

10nm位移精度,+/-200nm位移重復(fù)性,<0.01%精度

 


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