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Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100用于蝕刻覆銅板

來源：伯東企業(yè)（上海）有限公司 2023年01月04日 14:26

某印制板線路板生產工廠采用伯東 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100 將覆銅板上不需要的銅蝕刻掉, 將需要保留的銅保留下來.

Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL3100 技術參數(shù):

Model	MEL3100
Wafer size	3"～6"
Wafer per batch	1 wafer
Cassette No.	25 wafers
Cassette Q'ty	1pc.
Throughput	10 (wafer/hr) *1
Pressure Ultimate	8×10-5 (Pa) *2
Pressure Process	2×10-2 (Pa) *2
Etching Rate	>10 (nm/min)@SiO2 *3
Etching Uniformity	±5%@132mm (6") *3
Wafer surface temp.	<100℃ *3
Stage rotating	1～20 (rpm) ±5%
Stage tilting	±90°±0.5°
*1: Estimated process time 5min
*2: No wafer on stege / process chamber
*3: Depending on process

該工廠采用 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 的主要原因:

1. 所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質量

2. 采用高質量的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率

3. 占用空間小

4. 控制單元系統(tǒng)提供操作通過觸摸屏/ 10.4英寸, 數(shù)據(jù)記錄可以顯示在屏幕上

5. 高冷卻效果

6. 良好的重復性和再現(xiàn)性的旋轉和傾斜階段具有良好的可重復性利用脈沖電動機

7. 快速響應時間和本地服務能力, 減少停機時間的工具

工廠采用 Hakuto 全自動離子刻蝕機 MEL 3100 運行結果：

1. 提高蝕刻過程的均勻性

2. 提高精密程度, 提高產線的生產工藝能力

3. 提高產線的生產率, 降低勞動強度, 保證生產的連續(xù)性

若您需要進一步的了解詳細產品信息或討論 , 請參考以下聯(lián)絡方式 :

上海伯東 : 羅先生

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