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該儀器采用了主動擾動抑制技術(shù)、快速應(yīng)力形變分析算法、共光路橫向錯位干涉、二維偏振相移等技術(shù)，大口徑、大面形、抗高溫空氣擾動等關(guān)鍵技術(shù)?？蓪?英寸樣品應(yīng)力和形變進行全場、快速、直接測試。適用于微電子、光電子器件科研生產(chǎn)中電子基片和薄膜的面形分布、應(yīng)力分布和應(yīng)力釋放過程的測試，為提高電子元器件質(zhì)量和可靠性提供數(shù)據(jù)支持。
可測Si、CaAs、InGaAs和Ge等具有反光性能的薄膜或拋光片
基片和薄膜面形測試
薄膜應(yīng)力分布測試；
應(yīng)力和形變釋放過程測試
變溫基片形變和薄膜應(yīng)力測試；
具有測試過程數(shù)據(jù)記錄功能，輸出結(jié)果類型：三維立體顯示、二維偽彩色顯示、數(shù)據(jù)表格、溫度與應(yīng)力曲線
技術(shù)參數(shù)：
測試樣片尺寸：2～6英寸
激光波長：650nm±30nm
激光功率：≥15mW
樣品溫控范圍：室溫～200℃
溫度均勻性：±2%±2℃
溫度控制精度：±2%±1℃
溫度顯示分辨率：0.1℃
曲率半徑測試范圍：∣R∣≥8m
曲率半徑測試精度：5%
應(yīng)力測量范圍：50MPa～1GPa
應(yīng)力重復(fù)測量精度：±10%±10MPa
應(yīng)力測量顯示分辨率：10MPa
測試時間：≤3min/片
電源：AC 220（1±10%）V，50（1±5%）Hz
功耗：≤350W
結(jié)構(gòu)特征：臺式
外形尺寸（W×H×D）：≤520mm×630mm×850mm
重量：約80kg

3052型紅外氣體分析儀

紅外氣體分析儀適用于常量、微量的二氧化硫分析儀、一氧化碳分析儀、二氧化碳分析儀、甲烷分析儀等氣體的分析，全量程覆蓋，包括0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，0-100% 
標(biāo)準(zhǔn)3U機箱，能安裝在成套設(shè)備中
大屏幕LCD顯示，全中文菜單操作，且有操作提示功能，操作簡單、高效 
標(biāo)準(zhǔn)RS232數(shù)字通訊功能，可直接與電腦或DCS連接 ，可選配配有標(biāo)準(zhǔn)上位機軟件
輸出為同步、隔離的（0/2/4-20）mA及（0/0.5/1-5）V信號可選，默認為（4-20）mA和（1-5）V，電流輸出負載≤400Ω，電壓輸出負載≥250Ω
具有故障、B警指示與提示功能
可存儲3000條完整記錄，峰值可查詢
可選配微型打印機
工作原理：
該紅外氣體分析儀可用于二氧化硫分析儀、二氧化碳分析儀、一氧化碳分析儀、甲烷分析儀等。屬于電調(diào)制非分光式(NDIR)紅外線氣體分析器，其工作原理是基于不同種類的氣體對紅外線的選擇性吸收效率不同。儀器采用單光源、單管隔半氣室及檢測器，分析精度高、穩(wěn)定性好。
技術(shù)參數(shù)： 
檢測原理：紅外線
檢測方式：泵吸式
重復(fù)性： ≤±1%  
零點漂移：≤±1%F.S/15d 
量程漂移：≤±1%F.S/15d 
線性誤差：≤±1%F.S
分辨率：0.01%F.S
響應(yīng)時間：T90≤15s
被測氣體的流量：0.5～3L/min
使用環(huán)境溫度：-10～55℃；相對濕度：≤90%
電源：220V±10% ；50±0.5Hz  150W
測量值輸出：0～20mA; 0～10mV; 4～20mA；1～5V(按用戶要求提供，在*大負載600Ω內(nèi)不受負載影響，數(shù)字式顯示。)
應(yīng)用領(lǐng)域：
紅外氣體分析儀，高精度紅外氣體分析儀，北京紅外氣體分析儀，紅外氣體分析儀，一氧化碳分析儀，二氧化硫分析儀，二氧化碳分析儀，甲烷分析儀，碳氫分析儀，四氯化碳分析儀，六氟化硫分析儀，氨氣分析儀