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Moxtek紫外線柵偏振片在科研與工業(yè)中的應(yīng)用分析

來源:北京先鋒泰坦科技有限公司   2024年09月30日 13:16  

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Moxtek專為240nm到400nm紫外波段應(yīng)用設(shè)計紫外偏振片,采用特*的納米線柵技術(shù),性能優(yōu)異,具有大入射角,寬波長范圍,耐熱性高,高透過率,高消光比等特點(diǎn)。

產(chǎn)品型號和規(guī)格

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技術(shù)數(shù)據(jù):透過率以及消光比

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紫外偏振片主要應(yīng)用

1.半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)用:

DUV步進(jìn)器和DUV掃描儀是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的核心和關(guān)鍵單元。使用波長為248 nm和193 nm的單色紫外線輻射,將結(jié)構(gòu)從光掩模板轉(zhuǎn)移到襯底上。在光刻材料的曝光中增加偏振光可將分辨率提高20%。

紫外偏振片也廣泛用在無圖形晶圓光學(xué)檢測設(shè)備上,實(shí)現(xiàn)高精度的缺陷檢測。

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2.紫外線固化

偏振紫外線用于固化高*印刷行業(yè)中使用的紫外線敏感油墨,使用偏振光可以實(shí)現(xiàn)更快的生產(chǎn)速度和更大的產(chǎn)能,從而提高機(jī)器和工廠的利用率。

3.光對準(zhǔn)Photo Alignment

使用240至300nm范圍內(nèi)的線性偏振紫外線,可以實(shí)現(xiàn)LC顯示器行業(yè)的精確對準(zhǔn),以生成各向異性對準(zhǔn)膜。傳統(tǒng)的摩擦聚酰亞胺會產(chǎn)生灰塵、靜電和機(jī)械損傷。在不用大面積變動的情況下,UV偏振光允許極快生成均勻和穩(wěn)定的偏置傾斜角。

4.光譜儀

Moxtek UVD260和UVD240偏振片可用于光譜儀,與Glan-Taylor棱鏡相比,其小尺寸、寬接受角、均勻性和寬波長帶寬特點(diǎn)具備明顯的優(yōu)勢,另外相比傳統(tǒng)的Glan-Taylor棱鏡,UVD系列偏振片還具有更高的對比度和透過率,同時支持更大的AOI,需要更少的空間,沒有光學(xué)像差,厚度僅為2mm左右。

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