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電子顯微鏡成像系統(tǒng)

來源:深圳市福田區(qū)西派克光學(xué)儀器行   2014年11月25日 13:50  

1、物鏡和消像散器

        物鏡是成像系統(tǒng)的*個(gè)成像透鏡。 —臺(tái)電子顯微鐐性能的好壞, 主要由物鏡的光學(xué)特性所決定。 物鏡的任何缺陷都將被成像系統(tǒng)中的其它透鏡進(jìn)—步放大。 因此, 要求物鏡的像差盡可能小和有足夠高的放大倍數(shù), 通常采用強(qiáng)激磁、 短焦距 (1.5-3mm) 的物鏡及物鏡光闌來降低球差。 由于光閑孔徑過小時(shí), 會(huì)因衍射效成使物鏡降低分辨率和因光闡邊緣的污染效應(yīng)使電子束的干擾較強(qiáng), 因此光閑孔徑不能太小。

        消像散器是保證物鏡提高分辨率的—個(gè)重要部件。 它利用—個(gè)強(qiáng)度和方位可調(diào)節(jié)的嬌止磁場(chǎng)來校正物鏡非軸對(duì)稱引起的軸上像散。

        現(xiàn)在常用的電磁消像散器是由均勻裝在極靴間隙周圍的兩組四對(duì)電磁體所組成,每對(duì)電磁體均用同極相對(duì)的安置方式安裝, 通電流時(shí),兩組電磁體分別形成的兩個(gè)橢圓形矯正滋場(chǎng)彼此垂直, 通過改變兩組電磁 的激磁強(qiáng)度和磁場(chǎng)方向— 便能形成—個(gè)非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱的矯正磁場(chǎng)。 若其強(qiáng)度與透鏡像散場(chǎng)相等, 而方向互相垂直, 就起到了消除像散的作用 。

2、中間鏡和投影鏡

        中間鏡是一個(gè)長(zhǎng)焦距可變放大倍數(shù)的弱磁透鏡。 極靴內(nèi)孔較大, 放大倍數(shù)在0-20 之間。 當(dāng)放大倍數(shù)大于1時(shí)它用來放大物鏡像; 當(dāng)放大倍數(shù)小于1時(shí), 它用來縮小物鏡像。

        投影鏡是—個(gè)短焦距的強(qiáng)磁透鏡, 使用 上 下對(duì)稱的小孔徑極靴— 用以得到大的放大倍數(shù)。 投影鏡具有因定的勵(lì)磁電流, 它起著將中問鏡像放大并投射到熒光屏上的作用。

3、 三級(jí)放大成儡

        電子顯微鏡的zui高放大倍數(shù)是由儀器性能、 照相底板 (或熒光屏) 的分辨率等因素決定的, 一般情況下— 二級(jí)放大成像系統(tǒng)可以獲得放大了20萬倍左右的電子像。 物鏡將試樣的細(xì)節(jié)放大100倍成像于物鏡像平而人中間鏡將物鏡的像放大20倍成像于投影鏡上; 投影鏡將中間鏡的像放大100倍成像于熒光屏上.。放大僧?dāng)?shù)的調(diào)節(jié), 可通過改變中間鑲的勵(lì)as電流來實(shí)現(xiàn)。 中間鎮(zhèn)的勵(lì)磁電流變化后, 物鏡的勵(lì)破電流也要適當(dāng)改變, 保證物鏡像平面與中間鑲物面熏合, 以便獲得聚姥清晰的像。
        在三級(jí)成像系統(tǒng)中, 若改變物就的勵(lì)磁電流, 則可使物鏡成像于中間鑲之下. 中間鏡以
物鏡像為 “虛物”, 將其形成為編小的實(shí)像于投影鏡物面A. 由投影鏡成像于熒光屏上, 這樣可得到放大了幾千至幾萬倍的電子像。用這種方法產(chǎn)生的圖像畸變,可以 由 中間鏡的桶形醋變與投影鑲的枕形醋變互相補(bǔ)償而降低。
        若關(guān)閉物鏡. 用中間鏡代替物鎮(zhèn)成像, 則放大倍數(shù)可降到 加100~300左右,能獲得視野較大的圖像。

(轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處 來自西派克顯微鏡原文鏈接:)

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