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透射電子顯微鏡的樣品如何制備?

   2020年06月09日 15:55  
  【儀器網(wǎng) 解決方案】透射電子顯微鏡簡(jiǎn)稱透射電鏡,是用于觀察樣品的精細(xì)結(jié)構(gòu)的光學(xué)儀器,由照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、記錄系統(tǒng)、電源系統(tǒng)等結(jié)構(gòu)組成,是物理、生物學(xué)等眾多科學(xué)領(lǐng)域的重要分析方法,常用于癌癥研究、材料科學(xué)、納米技術(shù)以及半導(dǎo)體研究等等。
 
  樣品制備方法:
 
  一、樣品要求:
 
  1.粉末樣品基本要求
 
  (1)單顆粉末尺寸應(yīng)小于1μm;
 
  (2)無磁性;
 
  (3)以無機(jī)成分為主,否則會(huì)造成電鏡嚴(yán)重的污染,高壓跳掉,甚至擊壞高壓槍;
 
  2.塊狀樣品基本要求:
 
  (1)需要電解減薄或離子減薄,獲得幾十納米的薄區(qū)才能觀察;
 
  (2)如晶粒尺寸小于1μm,也可用破碎等機(jī)械方法制成粉末來觀察;
 
  (3)無磁性;
 
  (4)塊狀樣品制備復(fù)雜、耗時(shí)長(zhǎng)而且工序多,需要由專業(yè)人員指導(dǎo)制備;樣品制備的好壞直接影響到后面電鏡的觀察和分析。
 
  二、送樣品前的準(zhǔn)備工作
 
  1.明確制備和觀察的目的
 
  2.樣品通過X-Ray粉末衍射(XRD)測(cè)試并確定結(jié)構(gòu)后,再?zèng)Q定是否做HRTEM;即可以節(jié)省時(shí)間,又能在XRD的基礎(chǔ)上獲得更多的微觀結(jié)構(gòu)信息。
 
  三、粉末樣品的制備
 
  1.選擇高質(zhì)量的微柵網(wǎng)(直徑3mm),這是關(guān)系到能否拍攝出高分辨率照片的首步。
 
  2.用鑷子小心取出微柵網(wǎng),將膜面朝上(在燈光下觀察顯示有光澤的面,即膜面),輕輕平放在白色濾紙上;
 
  3.取適量的粉末和乙醇分別加入小燒杯,進(jìn)行超聲振蕩10~30min,過3~5 min后,用玻璃毛細(xì)管吸取粉末和乙醇的均勻混合液,然后滴2~3滴該混合液體到微柵網(wǎng)上(如粉末是黑色,則當(dāng)微柵網(wǎng)周圍的白色濾紙表面變得微黑,此時(shí)便適中。滴得太多,則粉末分散不開,不利于觀察,同時(shí)粉末掉入電鏡的幾率大增,嚴(yán)重影響電鏡的使用壽命;滴得太少,則對(duì)電鏡觀察不利,難以找到實(shí)驗(yàn)所要求粉末顆粒。)
 
  4.等15 min以上以便乙醇盡量揮發(fā)完畢;否則將影響電鏡的真空。
 
  四、塊狀樣品制備
 
  1.電解減薄方法
 
  用于金屬和合金試樣的制備。(1)塊狀樣切成約0.3mm厚的均勻薄片;(2)用金剛砂紙機(jī)械研磨到約120~150μm厚;(3)拋光研磨到約100μm厚;(4)沖成Ф3mm 的圓片;(5)選擇合適的電解液和雙噴電解儀的工作條件,將Ф3mm 的圓片中心減薄出小孔;(6)迅速取出減薄試樣放入無水乙醇中漂洗干凈。
 
  注意事項(xiàng):
 
  (1)電解減薄所用的電解液有很強(qiáng)的腐蝕性,需要注意人員安全,及對(duì)設(shè)備的清洗;
 
  (2)電解減薄完的試樣需要輕取、輕拿、輕放和輕裝,否則容易破碎,導(dǎo)致前功盡棄;
 
  2. 離子減薄方法
 
  用于陶瓷、半導(dǎo)體、以及多層膜截面等材料試樣的制備。塊狀樣制備(1)塊狀樣切成約0.3mm厚的均勻薄片;(2)均勻薄片用石蠟粘貼于超聲波切割機(jī)樣品座上的載玻片上;(3)用超聲波切割機(jī)沖成Ф3mm 的圓片;(4)用金剛砂紙機(jī)械研磨到約100μm厚;(5)用磨坑儀在圓片中央部位磨成一個(gè)凹坑,凹坑深度約50~70μm,凹坑目的主要是為了減少后序離子減薄過程時(shí)間,以提高終減薄效率;(6)將潔凈的、已凹坑的Ф3mm 圓片小心放入離子減薄儀中,根據(jù)試樣材料的特性,選擇合適的離子減薄參數(shù)進(jìn)行減?。煌ǔ?,一般陶瓷樣品離子減薄時(shí)間需2~3天;整個(gè)過程約5天。

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