目錄:河南三特爐業(yè)科技有限公司>>實驗室電爐>>管式爐>> CVD管式爐CVD氣相沉積管式爐
【產(chǎn)品名稱】1200℃-CVD管式爐
【爐管尺寸】φ25--φ120mm
【加熱區(qū)】300mm
【額定溫度】1200℃
【電源電壓】AC220V/50Hz
【控溫精度】±1℃
【應用領域】化學氣相沉積(CVD)是指化學氣體或蒸汽在基質表面反應合成涂層或納米材料的方法，是半導體工業(yè)中應用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。
一、 產(chǎn)品描述
系列產(chǎn)品主要針對在真空或者保護氣氛下對樣品的熱處理，優(yōu)質的爐膛材料和穩(wěn)定的溫度控制系統(tǒng)，可保證實驗數(shù)據(jù)的可靠性；產(chǎn)品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料，爐管材質優(yōu)良，爐管兩端不銹鋼法蘭密封，可在真空下工作，法蘭上有進氣口和出氣口，可通入保護氣體，精密針型閥可調(diào)節(jié)進氣流量。
二、產(chǎn)品特點
1、 爐膛材料選用高純氧化鋁陶瓷纖維材料，新型拼裝結構，高溫不變形、堅固耐用
2、 發(fā)熱體采用高溫合金絲，可承受負荷大，穩(wěn)定且使用壽命長
3、 爐管采用石英管，兩端不銹鋼法蘭設計簡單、合理、易拆卸，方便進出被燒結樣品
4、 升溫速度快，從室溫升到1000攝氏度，一般需要15-30分鐘
5、 采用智能PID溫控儀表，控溫精度高，沖溫小，具有溫度補償和溫度校正功能，精度為±1℃
6、 控溫儀表具有程序功能，可設定升溫曲線，可編程序30段
7、 一體式結構，外觀設計美觀、大方
8、 電子元器件均采用產(chǎn)品帶有漏電保護功能，安全可靠
9、 本機對工作過程中的超溫會發(fā)出報警信號，并自動完成保護動作
10、當儀表程序設定完成后，只要按下運行按鈕，接下來的工作會自動完成
11、可選配大屏幕無紙記錄儀，實現(xiàn)對升溫曲線的實時記錄，并帶有存儲卡可對實驗數(shù)據(jù)進行分析和打印
12、可選配氣體質量流量計，通入氣體可數(shù)字精確控制
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