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Huace-6S 高低溫探針臺
特點(diǎn)/應(yīng)用
◆ zuida可用于12英寸以內(nèi)樣品測試
◆ 采用密閉腔結(jié)構(gòu)，屏蔽外部電信干擾同時(shí)保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時(shí)無結(jié)霜
◆ 優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以極大的減少液氮消耗量
◆ 可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡
◆ 可搭配多種類型顯微鏡
◆ 結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計(jì)，可無縫升級
◆ 探針臺可根據(jù)客戶要求定制。
技術(shù)參數(shù)
臺體規(guī)格 | |
樣品臺尺寸 | 6英寸/8英寸/12英寸 |
水平旋轉(zhuǎn) | 可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置 |
X-Y移動行程 | 6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸 |
X-Y移動精度 | 10μm/1μm |
樣品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán) |
針座平臺 | U型針座平臺，zuiduo可放置6-12個(gè)探針座 |
平臺升降 | 可快速升降10mm/可微調(diào)升降10mm |
背電極測試 | 樣品臺電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極 |
溫度范圍 | 負(fù)80°到正400° |
溫控精度 | 0.01°/0.1°/1° |
設(shè)備重量 | 約20KG/30KG |
光學(xué)系統(tǒng) | |
顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡 |
放大倍率 | 16X-200X/20X-4000X |
移動行程 | 水平方向繞立柱旋轉(zhuǎn)/XY軸移動4英寸，Z軸行程50.8mm |
光源 | 外置LED環(huán)形光源/同軸光源 |
CCD | 200萬像素/500萬像素/1200萬像素 |
定位器 | |
X-Y-Z移動行程 | 12mm*12mm*12mm |
移動精度 | 10μm/2μm/0.7μm/0.5μm |
吸附方式 | 磁力吸附，真空吸附 |
線纜 | 同軸線/三軸線 |
漏電精度 | 10pA/100fA/10fA |
固定探針 | 彈簧固定/管狀固定 |
接頭類型 | BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子 |
針尖直徑 | 0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm |
針尖材質(zhì) | 鎢鋼；鈹銅 |
可選附件：
加熱臺；
顯示器；
轉(zhuǎn)接頭；
射頻測試配件；
屏蔽箱；
光學(xué)平臺；
鍍金卡盤；
光電測試配件；
高壓測試配件；
顯微鏡快速傾仰裝置；
激光系統(tǒng)；
探針卡夾具；
Huace-6S 高低溫探針臺
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