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SPECEI-2000-VIS橢偏儀

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北京征程創(chuàng)拓科技有限公司
2015-11-25 18:00:00
國(guó)外
德國(guó)
934

【簡(jiǎn)單介紹】

SPECEI-2000是一款應(yīng)用橢圓偏光原理的臺(tái)式薄膜測(cè)量系統(tǒng)，適用于平面多層膜厚測(cè)量，如晶片、玻璃片等。分光橢偏儀可以測(cè)量光的多層反射，除了強(qiáng)度之外，也可以測(cè)量相對(duì)的相位和振幅變化，利用這種技術(shù)可以同時(shí)對(duì)多種參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。

【詳細(xì)說(shuō)明】

和常規(guī)橢偏儀相比，SPECEI-2000橢偏儀要便宜一半左右，并且還具有以下特點(diǎn)，系統(tǒng)集成了光源、導(dǎo)光器件，可旋轉(zhuǎn)的偏光鏡、樣品臺(tái)、CCD陣列光譜儀等器件，其光源入射角設(shè)定在70°，但用戶(hù)可根據(jù)需要設(shè)定為65到75°，整套儀器想當(dāng)小巧，尺寸僅為52cm*33cm*24cm。

SPECEI-2000橢偏儀的特點(diǎn)：

膜厚準(zhǔn)確度在1nm，精度在0.1nm
可測(cè)量多達(dá)25層膜厚
每層膜厚可從0.1nm至8um，450-900nm的光譜范圍
光斑大小為2mm*4mm，光學(xué)分辨率為200um*400um
適合于平面半透明的材料測(cè)量，如晶片、玻璃、薄膜和金屬箔等
可選項(xiàng)包括2D位移功能，標(biāo)準(zhǔn)晶片等
附帶的軟件可以非常容易地存儲(chǔ)和載入不同的測(cè)量組合模式

SPECEI-2000橢偏儀的技術(shù)指標(biāo)：


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